Zjišťování vnitřních parametrů plazmy v reaktoru pro plasmou intezifikované chemické vylučování z plynné fáze žhaveným vláknem uhlíkových nanotrubiček.

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F46747885%3A24210%2F04%3A24210191" target="_blank" >RIV/46747885:24210/04:24210191 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/60076658:12410/04:00005611

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Investigation of internal plasma parameters in a reactor for plasma enhanced hot filament chemical vapour deposition of carbon nanotubes.

Popis výsledku v původním jazyce

The plasma enhanced hot filament chemical vapour deposition process used for deposition of carbon nanotubes was investigated using Langmuir probes and optical emission spectroscopy. The electron density, electron temperature and plasma potential were meaured in relation to the discharge voltage and substrate temperature. The results are discussed in connection with the conditions for the growth of nanotubes. It is demonstrated that the production of reactive heavy particles like hydrocarbon ions takes pace predominantly in the sheath region, close to the negative biased substrate. This conclusion is supported by model calculations of the discharge current.

Název v anglickém jazyce

Investigation of internal plasma parameters in a reactor for plasma enhanced hot filament chemical vapour deposition of carbon nanotubes.

Popis výsledku anglicky

The plasma enhanced hot filament chemical vapour deposition process used for deposition of carbon nanotubes was investigated using Langmuir probes and optical emission spectroscopy. The electron density, electron temperature and plasma potential were meaured in relation to the discharge voltage and substrate temperature. The results are discussed in connection with the conditions for the growth of nanotubes. It is demonstrated that the production of reactive heavy particles like hydrocarbon ions takes pace predominantly in the sheath region, close to the negative biased substrate. This conclusion is supported by model calculations of the discharge current.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/OC%20527.60" target="_blank" >OC 527.60: Studium vlivu typu výboje na vlastnosti deponovaných vrstev</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2004

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Journal of Physics D : Applied Physics

ISSN

0022-3727

e-ISSN

—

Svazek periodika

VOL. 37

Číslo periodika v rámci svazku

N. 19

Stát vydavatele periodika

GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

2709-2714

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—