Experimentální a teoretický výzkum depozice uhlíkových nanotrubic metodou PE CVD

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60076658%3A12410%2F05%3A00006411" target="_blank" >RIV/60076658:12410/05:00006411 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Experimental and Theoretical Investigation of Plasma Enhanced Hot filament Chemical Vapour Deposition of Carbon Nanotubes

Popis výsledku v původním jazyce

The plasma enhanced hot filament chemical vapor deposition used for deposition of carbon nanotubes was investigated using Langmuir probes and optical emission spectroscopy. The electron density, electron temperature and plasma potential were measured inrelation to the discharge voltage and substrate temperature. The results are discussed in connection with the conditions for the nanotubes' growth. It is demonstrated that the production of reactive heavy particles takes place predominantly in the sheathregion, close to the negative biased substrate. Model calculations demonstrate the role of the electrical forces on the aligned growth of nanotubes and optimum properties for electron field emission from the nanotube tips.

Název v anglickém jazyce

Experimental and Theoretical Investigation of Plasma Enhanced Hot filament Chemical Vapour Deposition of Carbon Nanotubes

Popis výsledku anglicky

The plasma enhanced hot filament chemical vapor deposition used for deposition of carbon nanotubes was investigated using Langmuir probes and optical emission spectroscopy. The electron density, electron temperature and plasma potential were measured inrelation to the discharge voltage and substrate temperature. The results are discussed in connection with the conditions for the nanotubes' growth. It is demonstrated that the production of reactive heavy particles takes place predominantly in the sheathregion, close to the negative biased substrate. Model calculations demonstrate the role of the electrical forces on the aligned growth of nanotubes and optimum properties for electron field emission from the nanotube tips.

Druh

C - Kapitola v odborné knize

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2005

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název knihy nebo sborníku

In: M. Mutlu, G. Dinescu, R. Förch, J.M.M. Martinez, J. Vyskocil (Eds) Plasma Polymers and Related Materials

ISBN

975-491-194-0

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

58-62

Počet stran knihy

—

Název nakladatele

Hacettepe University Press

Místo vydání

Ankara

Kód UT WoS kapitoly

—