Experimentální a teoretické zkoumání plazmou podporovaného chemického nanášení z plynné fáze žhaveným vláknem uhlíkjových nanotrubiček.

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F46747885%3A24210%2F04%3A24210200" target="_blank" >RIV/46747885:24210/04:24210200 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Experimental and theoretical investigation of plasma enhanced hot filament chemical vapour deposition of carbon nanotubes

Popis výsledku v původním jazyce

The plasma enhanced hot filament chemical vapour deposition process used for deposition of carbon nanotubes was investigated using Langmuir probes and optical emission spectroscopy. The electron density, electron temperature and plasma potential were meaured in relation to the discharge voltage and substrate temperature. The results are discussed in connection with the conditions for the growth of nanotubes. It is demonstrated that the production of reactive heavy particles like hydrocarbon ions takes pace predominantly in the sheath region, close to the negative biased substrate. This conclusion is supported by model calculations of the discharge current.

Název v anglickém jazyce

Experimental and theoretical investigation of plasma enhanced hot filament chemical vapour deposition of carbon nanotubes

Popis výsledku anglicky

The plasma enhanced hot filament chemical vapour deposition process used for deposition of carbon nanotubes was investigated using Langmuir probes and optical emission spectroscopy. The electron density, electron temperature and plasma potential were meaured in relation to the discharge voltage and substrate temperature. The results are discussed in connection with the conditions for the growth of nanotubes. It is demonstrated that the production of reactive heavy particles like hydrocarbon ions takes pace predominantly in the sheath region, close to the negative biased substrate. This conclusion is supported by model calculations of the discharge current.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/OC%20527.60" target="_blank" >OC 527.60: Studium vlivu typu výboje na vlastnosti deponovaných vrstev</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2004

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

International Workshop on Plasma Polymers and Related Materials

ISBN

—

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

76-80

Název nakladatele

Neuveden

Místo vydání

Antalya, TR

Místo konání akce

Antalya, TR

Datum konání akce

1. 1. 2004

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—