Optická emisní spektroskopie argonové plazmy generované surfatronnem při frekvenci 2.45 GHz.

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F46747885%3A24210%2F04%3A24210195" target="_blank" >RIV/46747885:24210/04:24210195 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Optical emission spectroscopy of argon plasma generated by surfatron at frequency 2.45 GHz.

Popis výsledku v původním jazyce

The paper presents results of optical emission spectroscopy study of surfatron-based argon plasma. Plasma is formed in quartz tube, which is placed in the surfatron cavity powered by a microwave magnetron generator working at frequency 2.45 GHz. The plasa inside the tube is sustained downstream by a surface wave, which propagates along the plasma column. The quartz nozzle ends in a vacuum chamber pumped by a rotary oil pump. The pressure inside the chamber as well as the flow rate of the working gas isndependently variable. We estimated plasma parameters as rotational and vibrational temperature from the measured spectra of OH and N2

Název v anglickém jazyce

Optical emission spectroscopy of argon plasma generated by surfatron at frequency 2.45 GHz.

Popis výsledku anglicky

The paper presents results of optical emission spectroscopy study of surfatron-based argon plasma. Plasma is formed in quartz tube, which is placed in the surfatron cavity powered by a microwave magnetron generator working at frequency 2.45 GHz. The plasa inside the tube is sustained downstream by a surface wave, which propagates along the plasma column. The quartz nozzle ends in a vacuum chamber pumped by a rotary oil pump. The pressure inside the chamber as well as the flow rate of the working gas isndependently variable. We estimated plasma parameters as rotational and vibrational temperature from the measured spectra of OH and N2

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/OC%20527.60" target="_blank" >OC 527.60: Studium vlivu typu výboje na vlastnosti deponovaných vrstev</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2004

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

17th Escampig

ISBN

—

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

181-183

Název nakladatele

Ovidius University of Constanta

Místo vydání

Constanta, RO

Místo konání akce

Constanta, RO

Datum konání akce

1. 1. 2004

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—