Surfatronem generovaný výboj při frekvenci 2.45. GHz

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F46747885%3A24210%2F04%3A24210198" target="_blank" >RIV/46747885:24210/04:24210198 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Surfatron generated discharge at frequency 2.45. GHz.

Popis výsledku v původním jazyce

Plasma is formed in quartz tube, which is placed in the surfatron cavity powered by a microwave magnetron generator working at frequency 2.45 GHz. The plasma inside the tube is sustained downstream by a surface wave, which propagates along the plasma colmn. The quartz nozzle ends in a vacuum chamber pumped by a rotary oil pump. The pressure inside the chamber as well as the flow rate of the working gas is independently variable. We estimated plasma parameters as rotational and vibrational temperature frm the measured spectra of OH and N2

Název v anglickém jazyce

Surfatron generated discharge at frequency 2.45. GHz.

Popis výsledku anglicky

Plasma is formed in quartz tube, which is placed in the surfatron cavity powered by a microwave magnetron generator working at frequency 2.45 GHz. The plasma inside the tube is sustained downstream by a surface wave, which propagates along the plasma colmn. The quartz nozzle ends in a vacuum chamber pumped by a rotary oil pump. The pressure inside the chamber as well as the flow rate of the working gas is independently variable. We estimated plasma parameters as rotational and vibrational temperature frm the measured spectra of OH and N2

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/OC%20527.60" target="_blank" >OC 527.60: Studium vlivu typu výboje na vlastnosti deponovaných vrstev</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2004

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

III. Joint meeting COST 527, Sant Feliu de Guoix, Spain

ISBN

—

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

55-60

Název nakladatele

Neuveden

Místo vydání

Spain

Místo konání akce

Spain

Datum konání akce

1. 1. 2004

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—