Hybridní plazmová tryska s povrchovou vlnou pro buzení vysoce reaktivních výbojů

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F15%3A00449903" target="_blank" >RIV/68378271:_____/15:00449903 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="http://isdv.upv.cz/portal/pls/portal/portlets.pts.det?xprim=10113746" target="_blank" >http://isdv.upv.cz/portal/pls/portal/portlets.pts.det?xprim=10113746</a>

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Hybridní plazmová tryska s povrchovou vlnou pro buzení vysoce reaktivních výbojů

Popis výsledku v původním jazyce

Hybridní plazmová tryska s povrchovou vlnou pro buzení vysoce reaktivních výbojů je určená zejména pro zabudování do vakuového depozičního systému pro depozice tenkých vrstev obsahujícího vakuovou komoru, v jejímž vnitřním prostoru je instalována plochapro uložení substrátu a do něhož je zavedena alespoň jedna křemenná pracovní trubice, která je připojena na vnější zdroj pracovního plynu, která je zaústěna do blízkosti plochy pro uložení substrátu a která prochází vně vakuové komory tělem surfatronu, který je napojen na mikrovlnný generátor, vyznačující se tím, že každá pracovní trubice je do vakuové komory zavedena přes křemennou průchodku, která je opatřena křemenným nástavcem orientovaným do vnitřního prostoru vakuové komory, přičemž ve spodní části je pracovní trubice opatřena prstencovou elektrodou, která pracovní trubici obepíná a je elektricky vodivě spojena s vysokofrenvenčním generátorem.

Název v anglickém jazyce

Hybrid plasma nozzle with surface wave for driving highly reactive discharges

Popis výsledku anglicky

Hybrid plasma jet with surface wave for excitation of high reactive discharges is designed mainly for incorporation in a vacuum deposition system for thin films deposition comprising a vacuum chamber, in the interior of which is installed substrate holder and into which is introduced at least one quartz tube that is connected to an external source of the working gas, which is ended close to substrate holder and which extends outside the vacuum chamber through surfatron body, which is connected to a microwave generator. Each working tube is introduced into the vacuum chamber through a quartz bushing, which is provided with a quartz nozzle facing into interior of the vacuum chamber, the bottom of the tube is provided with an annular working electrode, which surrounds the working tube and is electrically connected with high-frequency generator.

Druh

P - Patent

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2015

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Číslo patentu nebo vzoru

305482

Vydavatel

CZ001 -

Název vydavatele

Industrial Property Office

Místo vydání

Prague

Stát vydání

CZ - Česká republika

Datum přijetí

9. 9. 2015

Název vlastníka

Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i

Způsob využití

A - Výsledek využívá pouze poskytovatel

Druh možnosti využití

A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence