Využití mikroskopu rastrující sondou pro kontrolu kvality tenkých vrstev
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F46747885%3A24210%2F13%3A%230005669" target="_blank" >RIV/46747885:24210/13:#0005669 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/46747885:24620/13:#0000242
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Využití mikroskopu rastrující sondou pro kontrolu kvality tenkých vrstev
Popis výsledku v původním jazyce
Depozicí tenkých vrstev lze upravovat fyzikální a chemické vlastnosti základního materiálu jako jsou např. tvrdost, korozivzdornost, odolnost abrazi a koeficient tření. Pro velmi přesnou charakterizaci vlastností tenkých vrstev lze s výhodou využít metody mikroskopie rastrující sondy, pomocí kterých lze snadno stanovit 3D topografii, nanotvrdost, elasticitu, adhezi, elektrickou a tepelnou vodivost aj.
Název v anglickém jazyce
The use of scanning probe microscopy for a thin layer quality control
Popis výsledku anglicky
It is possible to modify physical and chemical properties (e.g. hardness, corrosion and abrasion resistance, friction coefficient) of base material through the thin layer deposition. The scanning probe microscopy could be used for the precise characterization thin layer properties. Through the scanning probe microscopy it is easily possible to determine e.g. 3D topology, nanohardness, elasticity, adhesion, electrical and thermal conductivity etc.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
JB - Senzory, čidla, měření a regulace
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/ED0005%2F01%2F01" target="_blank" >ED0005/01/01: Centrum pro nanomateriály, pokrocilé technologie a inovace</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2013
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Jemná mechanika a optika
ISSN
0447-6441
e-ISSN
—
Svazek periodika
58
Číslo periodika v rámci svazku
1
Stát vydavatele periodika
CZ - Česká republika
Počet stran výsledku
3
Strana od-do
19-21
Kód UT WoS článku
—
EID výsledku v databázi Scopus
—