The Effect of Deposition of Metal Charge Compensation Coating on Surface Morfology of Samples for SEM

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F46747885%3A24210%2F18%3A00005873" target="_blank" >RIV/46747885:24210/18:00005873 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/46747885:24620/18:00005873
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
The Effect of Deposition of Metal Charge Compensation Coating on Surface Morfology of Samples for SEM
Popis výsledku v původním jazyce
The paper deals with the study of layers applied by magnetic sputtering on samples for electron microscopy to obtain electric conductive surface. It describes the effect of different deposition parameters on the change of the surface morphology of the samples. The reference substrate is pure Si wafer; as the coating material was selected the most commonly used gold and platinum. Scanning Electron Microscopy and Atomic Force Microscopy were used for qualitative and quantitative evaluation of the structural changes.
Název v anglickém jazyce
The Effect of Deposition of Metal Charge Compensation Coating on Surface Morfology of Samples for SEM
Popis výsledku anglicky
The paper deals with the study of layers applied by magnetic sputtering on samples for electron microscopy to obtain electric conductive surface. It describes the effect of different deposition parameters on the change of the surface morphology of the samples. The reference substrate is pure Si wafer; as the coating material was selected the most commonly used gold and platinum. Scanning Electron Microscopy and Atomic Force Microscopy were used for qualitative and quantitative evaluation of the structural changes.

Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2018
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku
(2018) NANOCON 2017 - Conference Proceedings, 9th International Conference on Nanomaterials - Research and Application
ISBN
978-80-87294-81-9
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
6
Strana od-do
848-853
Název nakladatele
TANGER Ltd
Místo vydání
Ostrava
Místo konání akce
Brno
Datum konání akce
1. 1. 2017
Typ akce podle státní příslušnosti
EUR - Evropská akce
Kód UT WoS článku
000452823300141

Podobné výsledky(10)