Nelineární vlastnosti piezoelektrických tenkých filmů pro MEMS
Popis výsledku
Byly studovány vybrané nelineární vlastnosti a distribude deformace v tenkých PZT filmech, nanesených na Si substrát. Vzorky různých kompozicí a orientací byly připraveny metodou magnetronového naprašování. Pro aplikace v MEMS, tloušťky vyšetřovaných vzorků byly, 1.1, 1.3 a 2.2 ?m . Distribuce deforrmace pod horní elektrodou byla vyšetřována pomocí ANSYS 8.0.
Klíčová slova
piezoelectric PZT thin filmsnonlinear responseSi-substrateMEMS
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Non-linear properties of piezoelectric thin film for MEMS devices
Popis výsledku v původním jazyce
Some nonlinear piezoelectric properties and strain distribution in the PZT thin films, sputtered on the Pt/Ti/SiO2/Si substrates, were studied. The samples of different composition and orientations were prepared by magnetron sputtering. For applicationsin MEMS, the thicknesses of the samples under test were estimated as 1.1, 1.3 and 2.2 ?m respectively. The thin film strain distibution under top electrode was investigated by ANSYS 8.0.
Název v anglickém jazyce
Non-linear properties of piezoelectric thin film for MEMS devices
Popis výsledku anglicky
Some nonlinear piezoelectric properties and strain distribution in the PZT thin films, sputtered on the Pt/Ti/SiO2/Si substrates, were studied. The samples of different composition and orientations were prepared by magnetron sputtering. For applicationsin MEMS, the thicknesses of the samples under test were estimated as 1.1, 1.3 and 2.2 ?m respectively. The thin film strain distibution under top electrode was investigated by ANSYS 8.0.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
GA202/07/1289: Elektromechanické vlastnosti pokročilých feroelektrických materiálů
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2007
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
8th International Workshop on Electronics, Control, Modelling, Measurement, and Signals 2007 (and Doctoral School EDSYS, GEET)
ISBN
978-80-7372-218-0
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
6
Strana od-do
27-32
Název nakladatele
Technická univerzita v Liberci
Místo vydání
Liberec
Místo konání akce
Liberec
Datum konání akce
21. 5. 2007
Typ akce podle státní příslušnosti
EUR - Evropská akce
Kód UT WoS článku
—
Druh výsledku
D - Stať ve sborníku
CEP
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
Rok uplatnění
2007