Tenké Pb(ZrzTi1-x)O3 (PZT) rhombohedrální kompozice nanesené na Si-substrátu a jejich nelineární piezoelektrická odezva
Popis výsledku
V příspěvku jsou presentovány některé nelineární peizoelektrické vlastnosti a simulace deformace v tenké vrstvě PZT, naprášené na substrát kompozice Pt/Ti/SiO2/Si. Připarveny a zkoumány byly vzorky PZT(60/40), orientace (111), rhombohedrální kompozice, aPZT (54/46), (001) v blízkosti MPB. Nelineární chování tenkých PZT filmů, zvláště závislost d33,eff na elektrickém poli bylo vyšetřováno pomocá dvousvazkového interferometru a optického heliového kryostatu.Výsledky byly porovnány s dříve dosaženými datya diskutovány. Pomocí MKP (ANSYS 8.0) byla vyšetřena deformace tenké vrstvy pod aktivní elektrodou. Presentována byla též dynamická deformace v omezené oblasti pod elektrodou.
Klíčová slova
piezoelectric PZT thin filmsSi-substratenonlinear properties
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Thin Pb(ZrzTi1-x)O3 (PZT) rhombohedral compositions deposited on the Si-substrate and its non-linear piezoelectric response
Popis výsledku v původním jazyce
This paper presents some nonlinear piezoelectric properties and strain simulation in lead zirconate-titanate Pb(ZrxTi1-x)O3 (PZT) thin films, sputtered on the Pt/Ti/SiO2/Si substrates. The samples PZT (60/40), (111) orientation, rhombohedral phase composition, and PZT (54/46), (001) near MPB were prepared. The non-linear behaviour of the PZT thin film, as the effective d33,eff vs. electric field was investigated by double beam laser interferometer and optical helium cryostat. Comparing our previously obtained data, the results are discussed. As consequences, the strain distribution in active thin PZT film area under top electrode was provided by FEM (ANSYS 8.0) and demonstrated in the contribution. Simulation of the dynamic deformation of the active thin PZT film area was presented during the conference ECAPD8.
Název v anglickém jazyce
Thin Pb(ZrzTi1-x)O3 (PZT) rhombohedral compositions deposited on the Si-substrate and its non-linear piezoelectric response
Popis výsledku anglicky
This paper presents some nonlinear piezoelectric properties and strain simulation in lead zirconate-titanate Pb(ZrxTi1-x)O3 (PZT) thin films, sputtered on the Pt/Ti/SiO2/Si substrates. The samples PZT (60/40), (111) orientation, rhombohedral phase composition, and PZT (54/46), (001) near MPB were prepared. The non-linear behaviour of the PZT thin film, as the effective d33,eff vs. electric field was investigated by double beam laser interferometer and optical helium cryostat. Comparing our previously obtained data, the results are discussed. As consequences, the strain distribution in active thin PZT film area under top electrode was provided by FEM (ANSYS 8.0) and demonstrated in the contribution. Simulation of the dynamic deformation of the active thin PZT film area was presented during the conference ECAPD8.
Klasifikace
Druh
Jx - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
GA202/07/1289: Elektromechanické vlastnosti pokročilých feroelektrických materiálů
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2007
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Ferroelectrics
ISSN
0015-0193
e-ISSN
—
Svazek periodika
351
Číslo periodika v rámci svazku
June
Stát vydavatele periodika
US - Spojené státy americké
Počet stran výsledku
10
Strana od-do
112-121
Kód UT WoS článku
—
EID výsledku v databázi Scopus
—
Druh výsledku
Jx - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
Rok uplatnění
2007