Piezoelectric PZT thin films on flexible copper-coated polymer films

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F10%3A00336533" target="_blank" >RIV/68378271:_____/10:00336533 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Piezoelectric PZT thin films on flexible copper-coated polymer films

Popis výsledku v původním jazyce

This work analyzes the processing of Pb(Zr,Ti)O3 (PZT) thin films directly on copper-coated polymer films. PZT thin film deposition was performed onto the metallized Kapton films using a single RF plasma jet. In order to reduce the interaction of PZT andCu during the initial growth stage, an ultrathin amorphous TiOx seeding layer was sputter-deposited prior to PZT deposition.Topography and piezoelectric response of the films were evaluated using a commercial AFM adapted for piezoforce measurements.Theas-deposited films were self-polarized with a piezoelectric hysteresis.

Název v anglickém jazyce

Piezoelectric PZT thin films on flexible copper-coated polymer films

Popis výsledku anglicky

This work analyzes the processing of Pb(Zr,Ti)O3 (PZT) thin films directly on copper-coated polymer films. PZT thin film deposition was performed onto the metallized Kapton films using a single RF plasma jet. In order to reduce the interaction of PZT andCu during the initial growth stage, an ultrathin amorphous TiOx seeding layer was sputter-deposited prior to PZT deposition.Topography and piezoelectric response of the films were evaluated using a commercial AFM adapted for piezoforce measurements.Theas-deposited films were self-polarized with a piezoelectric hysteresis.

Druh

J_ost - Ostatní články v recenzovaných periodicích

CEP obor

—

OECD FORD obor

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2010

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Materials Science Forum

ISSN

0255-5476

e-ISSN

—

Svazek periodika

636/637

Číslo periodika v rámci svazku

-

Stát vydavatele periodika

CH - Švýcarská konfederace

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—