Deposition of PZT thin films on copper-coated polymer foils

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F09%3A00337271" target="_blank" >RIV/68378271:_____/09:00337271 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Deposition of PZT thin films on copper-coated polymer foils

Popis výsledku v původním jazyce

In this work, we investigate the deposition of Pb(Zr,Ti)O3 (PZT) thin films directly onto copper-coated polymer foils. (111)-textured PZT was fabricated on these flexible substrates by means of a RF-modulated plasma jet system comprising a hollow cathodefor reactive sputtering. Film composition and microstructure as well as piezoelectric and dielectric film properties were investigated. The deposited films are suitable as embedded capacitors as well as flexible piezoelectric sensors, actuators and power generators.

Název v anglickém jazyce

Deposition of PZT thin films on copper-coated polymer foils

Popis výsledku anglicky

In this work, we investigate the deposition of Pb(Zr,Ti)O3 (PZT) thin films directly onto copper-coated polymer foils. (111)-textured PZT was fabricated on these flexible substrates by means of a RF-modulated plasma jet system comprising a hollow cathodefor reactive sputtering. Film composition and microstructure as well as piezoelectric and dielectric film properties were investigated. The deposited films are suitable as embedded capacitors as well as flexible piezoelectric sensors, actuators and power generators.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

—

OECD FORD obor

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2009

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Relability and Properties of Electronic Devices on Flexible Substrates (Simposium I at the 2008 MRS Fall Meeting)

ISBN

9781615673834

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

—

Název nakladatele

MRS

Místo vydání

Warrendale, PA

Místo konání akce

Boston

Datum konání akce

1. 12. 2008

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—