Deposition of PZT thin film onto copper-coated polymer films by mean of pulsed-DC and RF-reactive sputtering
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F11%3A00364652" target="_blank" >RIV/68378271:_____/11:00364652 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2011.02.050" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2011.02.050</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2011.02.050" target="_blank" >10.1016/j.surfcoat.2011.02.050</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Deposition of PZT thin film onto copper-coated polymer films by mean of pulsed-DC and RF-reactive sputtering
Popis výsledku v původním jazyce
In this work, Pb(Zr,Ti)O3 (PZT) thin films were deposited onto flexible Cu-coated Kapton substrates by means of reactive magnetron sputtering for the first time. Different power supplies were selected for each of the 200 mm targets to adjust film composition and substrate ion bombardment. High-power pulse sputtering has been employed for the Zr-target to enhance for formation of nanocrystals, pulsed DC sputtering for the Ti-target to provide a high enough sputter yield, and RF-sputtering for the Pb-target to prevent droplet formation.Observed piezoelectric properties demonstrate that rapid-temperature-annealed films are promising for application in flexible piezoelectric sensors, actuators and power generators.
Název v anglickém jazyce
Deposition of PZT thin film onto copper-coated polymer films by mean of pulsed-DC and RF-reactive sputtering
Popis výsledku anglicky
In this work, Pb(Zr,Ti)O3 (PZT) thin films were deposited onto flexible Cu-coated Kapton substrates by means of reactive magnetron sputtering for the first time. Different power supplies were selected for each of the 200 mm targets to adjust film composition and substrate ion bombardment. High-power pulse sputtering has been employed for the Zr-target to enhance for formation of nanocrystals, pulsed DC sputtering for the Ti-target to provide a high enough sputter yield, and RF-sputtering for the Pb-target to prevent droplet formation.Observed piezoelectric properties demonstrate that rapid-temperature-annealed films are promising for application in flexible piezoelectric sensors, actuators and power generators.
Klasifikace
Druh
J<sub>imp</sub> - Článek v periodiku v databázi Web of Science
CEP obor
—
OECD FORD obor
10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2011
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Surface and Coatings Technology
ISSN
0257-8972
e-ISSN
—
Svazek periodika
205
Číslo periodika v rámci svazku
2
Stát vydavatele periodika
CH - Švýcarská konfederace
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
—
Kód UT WoS článku
000293258600051
EID výsledku v databázi Scopus
—