Multitarget sputtering of piezoelectric mixed oxide thin films onto flexible substrates
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F15%3A00450607" target="_blank" >RIV/68378271:_____/15:00450607 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/SSP.230.3" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/SSP.230.3</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/SSP.230.3" target="_blank" >10.4028/www.scientific.net/SSP.230.3</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Multitarget sputtering of piezoelectric mixed oxide thin films onto flexible substrates
Popis výsledku v původním jazyce
Large area film deposition was performed by means of multitarget reactive magnetron sputtering from metallic targets (Pb, Ti, Zr) with a diameter of 200 mm onto Cu-coated Kapton HN substrates. High-power pulse sputtering has been employed for the Zr-target (or alternatively for the Ti-target). Film composition profiles were evaluated by XPS and RBS. Piezoelectric properties were investigated by PFM.
Název v anglickém jazyce
Multitarget sputtering of piezoelectric mixed oxide thin films onto flexible substrates
Popis výsledku anglicky
Large area film deposition was performed by means of multitarget reactive magnetron sputtering from metallic targets (Pb, Ti, Zr) with a diameter of 200 mm onto Cu-coated Kapton HN substrates. High-power pulse sputtering has been employed for the Zr-target (or alternatively for the Ti-target). Film composition profiles were evaluated by XPS and RBS. Piezoelectric properties were investigated by PFM.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
—
OECD FORD obor
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2015
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
Oxide Materials for Electronic Engineering - Fabrication, Properties and Application, vol. 230
ISBN
978-3-03835-428-4
ISSN
1662-9779
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
5
Strana od-do
3-7
Název nakladatele
Scientific.Net
Místo vydání
Pfaffikon
Místo konání akce
Lviv
Datum konání akce
26. 5. 2014
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
—