Multitarget sputtering of PZT-containing mixed oxide thin films onto copper-coated kapton substrates

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F14%3A00486358" target="_blank" >RIV/68378271:_____/14:00486358 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.1109/OMEE.2014.6912320" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1109/OMEE.2014.6912320</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1109/OMEE.2014.6912320" target="_blank" >10.1109/OMEE.2014.6912320</a>

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Multitarget sputtering of PZT-containing mixed oxide thin films onto copper-coated kapton substrates
Popis výsledku v původním jazyce
Large area film deposition was performed by means of multitarget reactive magnetron sputtering from 200 mm diameter metallic targets (Pb, Ti, Zr) onto Cu-coated Kapton HN substrates. High-power pulse sputtering has been employed for the Zr-target (or alternatively for the Ti-target). Film composition profiles were evaluated by XPS and RES. Piezoelectric properties were investigated by PFM.
Název v anglickém jazyce
Multitarget sputtering of PZT-containing mixed oxide thin films onto copper-coated kapton substrates
Popis výsledku anglicky
Large area film deposition was performed by means of multitarget reactive magnetron sputtering from 200 mm diameter metallic targets (Pb, Ti, Zr) onto Cu-coated Kapton HN substrates. High-power pulse sputtering has been employed for the Zr-target (or alternatively for the Ti-target). Film composition profiles were evaluated by XPS and RES. Piezoelectric properties were investigated by PFM.

Projekt
—
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění
2014
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku
Proceedings of International Conference On Oxide Materials For Electronic Engineering (OMEE)
ISBN
978-1-4799-5961-7
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
2
Strana od-do
—
Název nakladatele
IEEE
Místo vydání
New York
Místo konání akce
Lviv
Datum konání akce
26. 5. 2014
Typ akce podle státní příslušnosti
EUR - Evropská akce
Kód UT WoS článku
000363330400002

Podobné výsledky(10)