Technologie výroby vícenásobné antireflexní vrstvy z materiálů Al2O3/SiO2 pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F47677023%3A_____%2F14%3A%230000017" target="_blank" >RIV/47677023:_____/14:#0000017 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Technologie výroby vícenásobné antireflexní vrstvy z materiálů Al2O3/SiO2 pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm
Popis výsledku v původním jazyce
Technologie výroby vícenásobné antireflexní vrstvy z materiálů Al2O3/SiO2 pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm. Technologie byla ověřena v rámci výroby vzorků ve společnosti Meopta ? optika, s.r.o.
Název v anglickém jazyce
Technology of production of multi-layer antireflection coating of Al2O3/SiO2 materials for the deep ultraviolet (DUV) region of the spectrum at the wavelength of 266nm
Popis výsledku anglicky
Technology of production of multi-layer antireflection coating of Al2O3/SiO2 materials for the deep ultraviolet (DUV) region of the spectrum at the wavelength of 266nm. Technology was verified during the sample production at Meopta ? optika, s.r.o.
Klasifikace
Druh
Z<sub>tech</sub> - Ověřená technologie
CEP obor
BH - Optika, masery a lasery
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/TA02010784" target="_blank" >TA02010784: Optimalizace vrstevnatých systémů používaných v optickém průmyslu</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2014
Kód důvěrnosti údajů
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Údaje specifické pro druh výsledku
Interní identifikační kód produktu
DP0002-2014-OT04
Číselná identifikace
—
Technické parametry
Parametry procesu vakuové depozice optických vrstev - tlak, teplota, napařovací rychlosti, tooling faktory ? uložené v softwaru řídicí jednotky aparatury Syrus 2 a zabezpečující pro deponovanou soustavu vrstev hodnoty R < 0.25% pro 266nm v kolmém dopadu
Ekonomické parametry
Bude využito ve vlastní výrobě
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
47677023
Název vlastníka
Meopta - optika, s.r.o.
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
P - Využití výsledku jiným subjektem je v některých případech možné bez nabytí licence
Požadavek na licenční poplatek
Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek
Adresa www stránky s výsledkem
—