Aplikace neuronových sítí pro vyhodnocování impulsových odezev z MEMS akcelerometrů

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23220%2F11%3A43899145" target="_blank" >RIV/49777513:23220/11:43899145 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Aplikace neuronových sítí pro vyhodnocování impulsových odezev z MEMS akcelerometrů

Popis výsledku v původním jazyce

Cílem tohoto článku je představit levný povýrobní test MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) akcelerometrů. Tato metoda je založena na vyhodnocování impulsové odezvy (IR) pomocí neuronové sítě, která předpovídá hodnotu důležitých parametrů MEMS součástky. Současné mechanické testování je časově i finančně náročné. Pro účely tohoto experimentu byla zvolena MEMS struktura kombinující elektro-tepelné vybuzení a piezorezistivní detekci. Pro účely tohoto experimentu byl také použit model této struktury vytvořený v SW Matlab/Simulink. Výsledky demonstrují výbornou předpověď neuronové sítě a excelentní shodu výsledků simulace s vytvořeným modelem.

Název v anglickém jazyce

The application of neural networks for impulse response evaluation of MEMS accelerometers

Popis výsledku anglicky

The aim of this paper is to introduce the cheap post-manufacturing test of MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) accelerometers. This method is based on impulse response (IR) evaluation by neural networks, which predict the values of key parameters ofMEMS device. Currently, the mechanical testing is time consuming and also expensive. For the purpose of this experiment the MEMS structure combining electro-thermal excitation and piezoresistive detection was chosen. For the purpose of this experiment the Simuling model was also created. The results demonstrate the perfect prediction of neural network and excellent correspondence of simulation results with created model.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

JB - Senzory, čidla, měření a regulace

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2011

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Jemná mechanika a optika

ISSN

0447-6441

e-ISSN

—

Svazek periodika

56

Číslo periodika v rámci svazku

6

Stát vydavatele periodika

CZ - Česká republika

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

184-187

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—