Vše

Co hledáte?

Vše
Projekty
Výsledky výzkumu
Subjekty

Rychlé hledání

  • Projekty podpořené TA ČR
  • Významné projekty
  • Projekty s nejvyšší státní podporou
  • Aktuálně běžící projekty

Chytré vyhledávání

  • Takto najdu konkrétní +slovo
  • Takto z výsledků -slovo zcela vynechám
  • “Takto můžu najít celou frázi”

Modeling and fabrication of single cantilever piezoelectric microgenerator with optimized Zno active layer

Identifikátory výsledku

  • Kód výsledku v IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23220%2F15%3A43927032" target="_blank" >RIV/49777513:23220/15:43927032 - isvavai.cz</a>

  • Nalezeny alternativní kódy

    RIV/49777513:23640/15:43927032

  • Výsledek na webu

    <a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2015.05.053" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2015.05.053</a>

  • DOI - Digital Object Identifier

    <a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2015.05.053" target="_blank" >10.1016/j.tsf.2015.05.053</a>

Alternativní jazyky

  • Jazyk výsledku

    angličtina

  • Název v původním jazyce

    Modeling and fabrication of single cantilever piezoelectric microgenerator with optimized Zno active layer

  • Popis výsledku v původním jazyce

    This paper presents design and fabrication process details of a piezoelectric generator with a thin-film zinc oxide (ZnO) layer. Structure of the piezoelectrical cantilever beam harvester consists of ZnO layer in between two insulating Al2O3 layers an outer aluminium contacts deposited on a silicon substrate. This multilayer system was prepared by the combination of radio-frequency and direct-current magnetron sputtering. Geometrical arrangement of the substrate holder and deposition target was optimized in order to reduce the disruptive effect of the gihg energy ions bombardment on the ZnO film microstructure. We present ZnO microstructure characterization by means of X-ray diffraction and scanning electron microscopy related to the estimation of internal micro-strains, crystallite sizes and deposition rates. Maximum generated open-circuit voltage achieved close to the cantilever resonant frequency of 595 Hz was 0.975V.

  • Název v anglickém jazyce

    Modeling and fabrication of single cantilever piezoelectric microgenerator with optimized Zno active layer

  • Popis výsledku anglicky

    This paper presents design and fabrication process details of a piezoelectric generator with a thin-film zinc oxide (ZnO) layer. Structure of the piezoelectrical cantilever beam harvester consists of ZnO layer in between two insulating Al2O3 layers an outer aluminium contacts deposited on a silicon substrate. This multilayer system was prepared by the combination of radio-frequency and direct-current magnetron sputtering. Geometrical arrangement of the substrate holder and deposition target was optimized in order to reduce the disruptive effect of the gihg energy ions bombardment on the ZnO film microstructure. We present ZnO microstructure characterization by means of X-ray diffraction and scanning electron microscopy related to the estimation of internal micro-strains, crystallite sizes and deposition rates. Maximum generated open-circuit voltage achieved close to the cantilever resonant frequency of 595 Hz was 0.975V.

Klasifikace

  • Druh

    J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

  • CEP obor

    JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

  • OECD FORD obor

Návaznosti výsledku

  • Projekt

    Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

  • Návaznosti

    P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Ostatní

  • Rok uplatnění

    2015

  • Kód důvěrnosti údajů

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Údaje specifické pro druh výsledku

  • Název periodika

    Thin Solid Films

  • ISSN

    0040-6090

  • e-ISSN

  • Svazek periodika

    591

  • Číslo periodika v rámci svazku

    30. září 2015

  • Stát vydavatele periodika

    CH - Švýcarská konfederace

  • Počet stran výsledku

    6

  • Strana od-do

    305-310

  • Kód UT WoS článku

    000362008000028

  • EID výsledku v databázi Scopus