Modeling and fabrication of single cantilever piezoelectric microgenerator with optimized Zno active layer
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23220%2F15%3A43927032" target="_blank" >RIV/49777513:23220/15:43927032 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/49777513:23640/15:43927032
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2015.05.053" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2015.05.053</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2015.05.053" target="_blank" >10.1016/j.tsf.2015.05.053</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Modeling and fabrication of single cantilever piezoelectric microgenerator with optimized Zno active layer
Popis výsledku v původním jazyce
This paper presents design and fabrication process details of a piezoelectric generator with a thin-film zinc oxide (ZnO) layer. Structure of the piezoelectrical cantilever beam harvester consists of ZnO layer in between two insulating Al2O3 layers an outer aluminium contacts deposited on a silicon substrate. This multilayer system was prepared by the combination of radio-frequency and direct-current magnetron sputtering. Geometrical arrangement of the substrate holder and deposition target was optimized in order to reduce the disruptive effect of the gihg energy ions bombardment on the ZnO film microstructure. We present ZnO microstructure characterization by means of X-ray diffraction and scanning electron microscopy related to the estimation of internal micro-strains, crystallite sizes and deposition rates. Maximum generated open-circuit voltage achieved close to the cantilever resonant frequency of 595 Hz was 0.975V.
Název v anglickém jazyce
Modeling and fabrication of single cantilever piezoelectric microgenerator with optimized Zno active layer
Popis výsledku anglicky
This paper presents design and fabrication process details of a piezoelectric generator with a thin-film zinc oxide (ZnO) layer. Structure of the piezoelectrical cantilever beam harvester consists of ZnO layer in between two insulating Al2O3 layers an outer aluminium contacts deposited on a silicon substrate. This multilayer system was prepared by the combination of radio-frequency and direct-current magnetron sputtering. Geometrical arrangement of the substrate holder and deposition target was optimized in order to reduce the disruptive effect of the gihg energy ions bombardment on the ZnO film microstructure. We present ZnO microstructure characterization by means of X-ray diffraction and scanning electron microscopy related to the estimation of internal micro-strains, crystallite sizes and deposition rates. Maximum generated open-circuit voltage achieved close to the cantilever resonant frequency of 595 Hz was 0.975V.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2015
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Thin Solid Films
ISSN
0040-6090
e-ISSN
—
Svazek periodika
591
Číslo periodika v rámci svazku
30. září 2015
Stát vydavatele periodika
CH - Švýcarská konfederace
Počet stran výsledku
6
Strana od-do
305-310
Kód UT WoS článku
000362008000028
EID výsledku v databázi Scopus
—