Magnetron with gas injection through hollow cathodes machined in sputtered target

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F01%3A00064882" target="_blank" >RIV/49777513:23520/01:00064882 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Magnetron with gas injection through hollow cathodes machined in sputtered target

Popis výsledku v původním jazyce

This article reports on a magnetron equipped with a target with holes. The holes machined in sputtered target can sustain hollow cathode discharges and/or inject the sputtering gas directly inside the magnetron discharge. This magnetron operates on the same principle as a gas-jet. It is shown that the size and number of holes can efficiently control I-V characteristics of the magnetron. The holes of large (>= 2 mm) diameter can sustain hollow cathode discharges, which intensify the magnetron discharge.

Název v anglickém jazyce

Magnetron with gas injection through hollow cathodes machined in sputtered target

Popis výsledku anglicky

This article reports on a magnetron equipped with a target with holes. The holes machined in sputtered target can sustain hollow cathode discharges and/or inject the sputtering gas directly inside the magnetron discharge. This magnetron operates on the same principle as a gas-jet. It is shown that the size and number of holes can efficiently control I-V characteristics of the magnetron. The holes of large (>= 2 mm) diameter can sustain hollow cathode discharges, which intensify the magnetron discharge.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2001

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Surface and Coatings Technology

ISSN

02578972

e-ISSN

—

Svazek periodika

Vol. 148

Číslo periodika v rámci svazku

leden

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

9

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—