Vše

Co hledáte?

Vše
Projekty
Výsledky výzkumu
Subjekty

Rychlé hledání

  • Projekty podpořené TA ČR
  • Významné projekty
  • Projekty s nejvyšší státní podporou
  • Aktuálně běžící projekty

Chytré vyhledávání

  • Takto najdu konkrétní +slovo
  • Takto z výsledků -slovo zcela vynechám
  • “Takto můžu najít celou frázi”

Magnetron with gas injection through hollow cathodes machined in sputtered target

Identifikátory výsledku

  • Kód výsledku v IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F01%3A00064882" target="_blank" >RIV/49777513:23520/01:00064882 - isvavai.cz</a>

  • Výsledek na webu

  • DOI - Digital Object Identifier

Alternativní jazyky

  • Jazyk výsledku

    angličtina

  • Název v původním jazyce

    Magnetron with gas injection through hollow cathodes machined in sputtered target

  • Popis výsledku v původním jazyce

    This article reports on a magnetron equipped with a target with holes. The holes machined in sputtered target can sustain hollow cathode discharges and/or inject the sputtering gas directly inside the magnetron discharge. This magnetron operates on the same principle as a gas-jet. It is shown that the size and number of holes can efficiently control I-V characteristics of the magnetron. The holes of large (>= 2 mm) diameter can sustain hollow cathode discharges, which intensify the magnetron discharge.

  • Název v anglickém jazyce

    Magnetron with gas injection through hollow cathodes machined in sputtered target

  • Popis výsledku anglicky

    This article reports on a magnetron equipped with a target with holes. The holes machined in sputtered target can sustain hollow cathode discharges and/or inject the sputtering gas directly inside the magnetron discharge. This magnetron operates on the same principle as a gas-jet. It is shown that the size and number of holes can efficiently control I-V characteristics of the magnetron. The holes of large (>= 2 mm) diameter can sustain hollow cathode discharges, which intensify the magnetron discharge.

Klasifikace

  • Druh

    J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

  • CEP obor

    BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

  • OECD FORD obor

Návaznosti výsledku

  • Projekt

    Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

  • Návaznosti

    P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Ostatní

  • Rok uplatnění

    2001

  • Kód důvěrnosti údajů

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Údaje specifické pro druh výsledku

  • Název periodika

    Surface and Coatings Technology

  • ISSN

    02578972

  • e-ISSN

  • Svazek periodika

    Vol. 148

  • Číslo periodika v rámci svazku

    leden

  • Stát vydavatele periodika

    US - Spojené státy americké

  • Počet stran výsledku

    9

  • Strana od-do

  • Kód UT WoS článku

  • EID výsledku v databázi Scopus