A positively biased external anode for energy control of plasma ions: hollow cathode and magnetron sputtering discharge

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F21%3A00552302" target="_blank" >RIV/68378271:_____/21:00552302 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://hdl.handle.net/11104/0327434" target="_blank" >http://hdl.handle.net/11104/0327434</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1088/1361-6595/abe0cc" target="_blank" >10.1088/1361-6595/abe0cc</a>

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
A positively biased external anode for energy control of plasma ions: hollow cathode and magnetron sputtering discharge
Popis výsledku v původním jazyce
The performance of a positively biased external ring anode in combination with a hollow cathode (HC) discharge or a magnetron sputtering (MS) discharge, both with a Ti cathode and with Ar as working gas, is investigated. Plasma and floating potential increase as function of anode voltage. Energy-resolved mass spectrometry reveals that the kinetic energy of argon and titanium ions is enhanced by a positive anode voltage allowing for an effective energy control of plasma ions.
Název v anglickém jazyce
A positively biased external anode for energy control of plasma ions: hollow cathode and magnetron sputtering discharge
Popis výsledku anglicky
The performance of a positively biased external ring anode in combination with a hollow cathode (HC) discharge or a magnetron sputtering (MS) discharge, both with a Ti cathode and with Ar as working gas, is investigated. Plasma and floating potential increase as function of anode voltage. Energy-resolved mass spectrometry reveals that the kinetic energy of argon and titanium ions is enhanced by a positive anode voltage allowing for an effective energy control of plasma ions.

Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2021
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika
Plasma Sources Science & Technology
ISSN
0963-0252
e-ISSN
1361-6595
Svazek periodika
30
Číslo periodika v rámci svazku
4
Stát vydavatele periodika
GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska
Počet stran výsledku
15
Strana od-do
045003
Kód UT WoS článku
000638147500001
EID výsledku v databázi Scopus
2-s2.0-85105086917

Podobné výsledky(10)