Direct current and high power impulse magnetron sputtering discharges with a positively biased anode

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F21%3A00552303" target="_blank" >RIV/68378271:_____/21:00552303 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="http://hdl.handle.net/11104/0327435" target="_blank" >http://hdl.handle.net/11104/0327435</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1116/6.0001054" target="_blank" >10.1116/6.0001054</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Direct current and high power impulse magnetron sputtering discharges with a positively biased anode

Popis výsledku v původním jazyce

A magnetron sputtering discharge with a positively biased anode in argon gas is investigated by Langmuir probe diagnostics and by energy-resolved mass spectrometry. The discharge is operated in continuous (direct current) and in pulsed (high power impulse magnetron sputtering, Hi) mode with a Ti target and in Ar gas. Singly-charged Ar.+., Ti.+., and Ar.2..+. and doubly-charged Ar.2+. and Ti.2+. ions are observed. A novel approach is to bias the magnetron anode. Application of a positive anode voltage shifts the kinetic energies of plasma ions by qe.0.V.a., where V.a. is the anode voltage and qe.0. is the ion charge. It allows for an effective control of plasma ion energies.

Název v anglickém jazyce

Direct current and high power impulse magnetron sputtering discharges with a positively biased anode

Popis výsledku anglicky

A magnetron sputtering discharge with a positively biased anode in argon gas is investigated by Langmuir probe diagnostics and by energy-resolved mass spectrometry. The discharge is operated in continuous (direct current) and in pulsed (high power impulse magnetron sputtering, Hi) mode with a Ti target and in Ar gas. Singly-charged Ar.+., Ti.+., and Ar.2..+. and doubly-charged Ar.2+. and Ti.2+. ions are observed. A novel approach is to bias the magnetron anode. Application of a positive anode voltage shifts the kinetic energies of plasma ions by qe.0.V.a., where V.a. is the anode voltage and qe.0. is the ion charge. It allows for an effective control of plasma ion energies.

Druh

J_imp - Článek v periodiku v databázi Web of Science

CEP obor

—

OECD FORD obor

10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2021

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Journal of Vacuum Science & Technology A : Vacuum, Surfaces and Films

ISSN

0734-2101

e-ISSN

1520-8559

Svazek periodika

39

Číslo periodika v rámci svazku

4

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

15

Strana od-do

043007

Kód UT WoS článku

000665103800001

EID výsledku v databázi Scopus

2-s2.0-85108705144