Magnetron sputtered Cr-Ni-N and Ti-Mo-N films: comparison of mechanical properties

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F01%3A00064889" target="_blank" >RIV/49777513:23520/01:00064889 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Magnetron sputtered Cr-Ni-N and Ti-Mo-N films: comparison of mechanical properties

Popis výsledku v původním jazyce

This article reports on structure and mechanical properties of Cr-Ni-N and Ti-Mo-N films with a low (<10 at.%) content of Ni or Mo, respectively. The films were deposited by reactive sputtering using d.c. unbalanced magnetron equipped with a round planarCr target fixed to the magnetron cathode with a Ni ring or alloyed TiMo (90:10 at.%) target. The investigation of sputtered films showed that: (i) both Cr-Ni-N and Ti-Mo-N films can form a superhard material with a maximum microhardness Hmax of approximately 45 GPa; (ii) the films with Hmax exhibit a single-oriented structure and; (iii) the Cr-Ni-N films exhibit a higher resistance to plastic deformation compared to the Ti-Mo-N films. The relationships between microhardness, reduced Young's modulus andelastic recovery evaluated from loading/unloading curves measured a computer-controlled microhardness tester Fischerscope H100 are given.

Název v anglickém jazyce

Magnetron sputtered Cr-Ni-N and Ti-Mo-N films: comparison of mechanical properties

Popis výsledku anglicky

This article reports on structure and mechanical properties of Cr-Ni-N and Ti-Mo-N films with a low (<10 at.%) content of Ni or Mo, respectively. The films were deposited by reactive sputtering using d.c. unbalanced magnetron equipped with a round planarCr target fixed to the magnetron cathode with a Ni ring or alloyed TiMo (90:10 at.%) target. The investigation of sputtered films showed that: (i) both Cr-Ni-N and Ti-Mo-N films can form a superhard material with a maximum microhardness Hmax of approximately 45 GPa; (ii) the films with Hmax exhibit a single-oriented structure and; (iii) the Cr-Ni-N films exhibit a higher resistance to plastic deformation compared to the Ti-Mo-N films. The relationships between microhardness, reduced Young's modulus andelastic recovery evaluated from loading/unloading curves measured a computer-controlled microhardness tester Fischerscope H100 are given.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2001

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Surface and Coatings Technology

ISSN

02578972

e-ISSN

—

Svazek periodika

Vol. 142

Číslo periodika v rámci svazku

leden

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—