Relationship between structure and mechanical properties in hard Al-Si-Cu-N films prepared by magnetron sputtering

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F02%3A00070764" target="_blank" >RIV/49777513:23520/02:00070764 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/49777513:23520/02:00000327 RIV/49777513:23520/02:00000328 RIV/49777513:23520/02:00000329

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Relationship between structure and mechanical properties in hard Al-Si-Cu-N films prepared by magnetron sputtering

Popis výsledku v původním jazyce

This article reports on properties of Al-Si-Cu-N films with 5-9 at.% Cu magnetron sputtered from a composed (Al, Si)-Cu target. The demonstration of a possibility to form the X-ray amorphous superhard films is of key scientific importance. It makes possible to start investigation of the grain size dependent phenomena in nanostructured films prepared by two-step process based on nanocrystallization from amorphous phase using a post-deposition annealing.

Název v anglickém jazyce

Relationship between structure and mechanical properties in hard Al-Si-Cu-N films prepared by magnetron sputtering

Popis výsledku anglicky

This article reports on properties of Al-Si-Cu-N films with 5-9 at.% Cu magnetron sputtered from a composed (Al, Si)-Cu target. The demonstration of a possibility to form the X-ray amorphous superhard films is of key scientific importance. It makes possible to start investigation of the grain size dependent phenomena in nanostructured films prepared by two-step process based on nanocrystallization from amorphous phase using a post-deposition annealing.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2002

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Thin Solid Films

ISSN

00406090

e-ISSN

—

Svazek periodika

Vol. 413

Číslo periodika v rámci svazku

č. 1-2

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

10

Strana od-do

121

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—