Pulzní DC magnetronové výboje a jejich využití v plazmovém inženýrství povrchů

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F04%3A00000225" target="_blank" >RIV/49777513:23520/04:00000225 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Pulsed dc mangetron discharges and their utilization in plasma surface engineering

Popis výsledku v původním jazyce

Fundamental aspects of magnetron operation in two types of practically interesting discharges, i.e. in high-power unipolar pulsed dc magnetron discharges for ionized high-rate sputtering and asymmetric bipolar pulsed dc magnetron discharges for reactive

Název v anglickém jazyce

Pulsed dc mangetron discharges and their utilization in plasma surface engineering

Popis výsledku anglicky

Fundamental aspects of magnetron operation in two types of practically interesting discharges, i.e. in high-power unipolar pulsed dc magnetron discharges for ionized high-rate sputtering and asymmetric bipolar pulsed dc magnetron discharges for reactive

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/ME%20673" target="_blank" >ME 673: Nové zdroje plazmatu pro vytváření tenkých vrstev</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2004

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Contributions to Plasma Physics

ISSN

0863-1042

e-ISSN

—

Svazek periodika

—

Číslo periodika v rámci svazku

—

Stát vydavatele periodika

DE - Spolková republika Německo

Počet stran výsledku

11

Strana od-do

426-436

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—