Pulsed dc magnetron discharges and their utilization in plasma surface engineering

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F03%3A00000010" target="_blank" >RIV/49777513:23520/03:00000010 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Pulsed dc magnetron discharges and their utilization in plasma surface engineering
Popis výsledku v původním jazyce
We shall report on time-resolved diagnostics performed by us and other authors in various types of pulsed dc magnetron discharges (unipolar high-power pulses with a repetition frequency up to 50 kHz and asymetric bipolar pulses with the frequency up to 350 kHz) with different geometries of magnetron targets (full targets or targets with holes) and different gas inlets.
Název v anglickém jazyce
Pulsed dc magnetron discharges and their utilization in plasma surface engineering
Popis výsledku anglicky
We shall report on time-resolved diagnostics performed by us and other authors in various types of pulsed dc magnetron discharges (unipolar high-power pulses with a repetition frequency up to 50 kHz and asymetric bipolar pulses with the frequency up to 350 kHz) with different geometries of magnetron targets (full targets or targets with holes) and different gas inlets.

Rok uplatnění
2003
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku
XXVI International Conference on Phenomena in Ionized Gases
ISBN
3-00-011689-3
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
2
Strana od-do
3-4
Název nakladatele
Local Organizing Committee
Místo vydání
Greifswald
Místo konání akce
Greiswald
Datum konání akce
15. 7. 2003
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
—

Podobné výsledky(10)