High-power pulsed magnetron sputtering with a grooved target

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F03%3A00000135" target="_blank" >RIV/49777513:23520/03:00000135 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

High-power pulsed magnetron sputtering with a grooved target

Popis výsledku v původním jazyce

Pulsed magnetron sputtering is a new progressive method of film deposition, which is applicable to master a reproducible formation of insulating films, e.g. oxides, with a high deposition rate close to that of pure metals, and also in other applications, where very high rates of film deposition and ionized coating particles are needed. We show that magnetron equiped with a grooved target makes it possible to significantly decrease the magnetron pulse voltage. Then the ionized high-rate sputtering, requiring a high average target power loading in a pulse, can be realized at the repetition frequencies in the range from 10 to 50 kHz.

Název v anglickém jazyce

High-power pulsed magnetron sputtering with a grooved target

Popis výsledku anglicky

Pulsed magnetron sputtering is a new progressive method of film deposition, which is applicable to master a reproducible formation of insulating films, e.g. oxides, with a high deposition rate close to that of pure metals, and also in other applications, where very high rates of film deposition and ionized coating particles are needed. We show that magnetron equiped with a grooved target makes it possible to significantly decrease the magnetron pulse voltage. Then the ionized high-rate sputtering, requiring a high average target power loading in a pulse, can be realized at the repetition frequencies in the range from 10 to 50 kHz.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/ME%20529" target="_blank" >ME 529: Nanostrukturní tenké vrstvy</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2003

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

JUNIORMAT '03

ISBN

80-214-2462-1

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

48-49

Název nakladatele

University of Technology

Místo vydání

Brno

Místo konání akce

Brno

Datum konání akce

23. 9. 2003

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—