Diagnostika Langmuirovou sondou s časovým rozlišením ve vysokovýkonových pulzních DC magnetronových výbojích pro rozprašování

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F05%3A00000251" target="_blank" >RIV/49777513:23520/05:00000251 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Time-resolved Langmuir probe diagnostics in high-power pulsed dc magnetron sputtering discharges
Popis výsledku v původním jazyce
We report on the results obtained by time-resolved Langmuir probe diagnostics in high-power pulsed dc magnetron sputtering discharges proposed for ionized high-rate sputtering of metallic films. Time evolutions of the electron energy distribution and loc
Název v anglickém jazyce
Time-resolved Langmuir probe diagnostics in high-power pulsed dc magnetron sputtering discharges
Popis výsledku anglicky
We report on the results obtained by time-resolved Langmuir probe diagnostics in high-power pulsed dc magnetron sputtering discharges proposed for ionized high-rate sputtering of metallic films. Time evolutions of the electron energy distribution and loc

Projekt
<a href="/cs/project/ME%20673" target="_blank" >ME 673: Nové zdroje plazmatu pro vytváření tenkých vrstev</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění
2005
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)