Vliv přidaného hliníku na strukturu a vlastnosti naprašovaných TiC filmů

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F07%3A00000103" target="_blank" >RIV/49777513:23520/07:00000103 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Effect of Addition on Structure and Properties of Sputtered TiC Films

Popis výsledku v původním jazyce

The article reports on the effect of Al addition on the structure, macrostress, mechanical properties and oxidation resistance of TiC-Al thin films. These films were sputtered using dc unbalanced magnetron equipped with a TiC target fixed with an Al fixing ring of various inner diameters. It was found that a continuous increase in Al content in the TiC-Al film results in gradual change of the film structure from the crystalline TiC through X-ray amorphous TiC-Al to the crystalline Al2Ti, decrease in thecompressive macrostress up to its conversion to the tensile one decrease in film microhardness, and increase in its oxidation resistance.

Název v anglickém jazyce

Effect of Addition on Structure and Properties of Sputtered TiC Films

Popis výsledku anglicky

The article reports on the effect of Al addition on the structure, macrostress, mechanical properties and oxidation resistance of TiC-Al thin films. These films were sputtered using dc unbalanced magnetron equipped with a TiC target fixed with an Al fixing ring of various inner diameters. It was found that a continuous increase in Al content in the TiC-Al film results in gradual change of the film structure from the crystalline TiC through X-ray amorphous TiC-Al to the crystalline Al2Ti, decrease in thecompressive macrostress up to its conversion to the tensile one decrease in film microhardness, and increase in its oxidation resistance.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2007

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Plasma Processes and Polymers

ISSN

1612-8850

e-ISSN

—

Svazek periodika

—

Číslo periodika v rámci svazku

—

Stát vydavatele periodika

DE - Spolková republika Německo

Počet stran výsledku

1

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—