Hard and superhard nanocomposite AL-Cu-N films prepared by magnetron sputtering

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F01%3A00064887" target="_blank" >RIV/49777513:23520/01:00064887 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Hard and superhard nanocomposite AL-Cu-N films prepared by magnetron sputtering

Popis výsledku v původním jazyce

The article reports on structure, mechanical properties and macrostress of Al-Cu-N films deposited by reactive sputtering using a dc unbalanced magnetron equipped with a round planar aluminium target fixed to the magnetron cathode with a copper ring. A systematic investigation of sputtered films showed that: (i) Al-Cu-N is a new nanocomposite material which can form superhard (>40 GPa) coatings with a maximum microhardness of approximately 48 GPa; (ii) Al-Cu-N can easily form a very fine-grained material; (iii) the size of grains decides on the macrostress in Al-Cu-N films; the Al-Cu-N films composed of grains with the average size of 9.5 nm exhibit a low (<0.5 GPa) macrostress and, on the contrary, the Al-Cu-N films composed of larger (>10 nm) grainsexhibit large macrostress of several GPa; and (iv) the macrostress in Al-Cu-N films can be varied from tension to compression by the variation of the energy delivered to the growing film.

Název v anglickém jazyce

Hard and superhard nanocomposite AL-Cu-N films prepared by magnetron sputtering

Popis výsledku anglicky

The article reports on structure, mechanical properties and macrostress of Al-Cu-N films deposited by reactive sputtering using a dc unbalanced magnetron equipped with a round planar aluminium target fixed to the magnetron cathode with a copper ring. A systematic investigation of sputtered films showed that: (i) Al-Cu-N is a new nanocomposite material which can form superhard (>40 GPa) coatings with a maximum microhardness of approximately 48 GPa; (ii) Al-Cu-N can easily form a very fine-grained material; (iii) the size of grains decides on the macrostress in Al-Cu-N films; the Al-Cu-N films composed of grains with the average size of 9.5 nm exhibit a low (<0.5 GPa) macrostress and, on the contrary, the Al-Cu-N films composed of larger (>10 nm) grainsexhibit large macrostress of several GPa; and (iv) the macrostress in Al-Cu-N films can be varied from tension to compression by the variation of the energy delivered to the growing film.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2001

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Surface and Coatings Technology

ISSN

02578972

e-ISSN

—

Svazek periodika

Vol. 142

Číslo periodika v rámci svazku

leden

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

7

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—