Oxidace naprašovaných Cu, Zr, ZrCu, ZrO2 a Zr-Cu-O vrstev během tepelného

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F07%3A00000105" target="_blank" >RIV/49777513:23520/07:00000105 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Oxidation of Sputtered Cu, Zr, ZrCu, ZrO2, and Zr-Cu-O Films during Thermal Annealing in Flowing Air

Popis výsledku v původním jazyce

The article deals with oxidation of Cu,Zr,ZrCu,ZrO2, and Zr-Cu-O films during post-deposition thermal annealing in flowing air. The films were deposited using dc unbalanced magnetron from pure or composed target in Ar or an Ar+O2 mixture. The oxidation behavior of the films was characterized by high-temperature thermogravimetry and XRD. Mechanical properties were measured by a microindenter Fischerscope H100. Thermal annealing was carried out over a wide range from 300 to 1300°C. Special attention was devoted to the oxidation of Cu and to the effect of Cu content in Zr-Cu-O films on the oxidation resistance. It was shown that the conversation CuO-Cu2 at 1040°C is a reversible process.

Název v anglickém jazyce

Oxidation of Sputtered Cu, Zr, ZrCu, ZrO2, and Zr-Cu-O Films during Thermal Annealing in Flowing Air

Popis výsledku anglicky

The article deals with oxidation of Cu,Zr,ZrCu,ZrO2, and Zr-Cu-O films during post-deposition thermal annealing in flowing air. The films were deposited using dc unbalanced magnetron from pure or composed target in Ar or an Ar+O2 mixture. The oxidation behavior of the films was characterized by high-temperature thermogravimetry and XRD. Mechanical properties were measured by a microindenter Fischerscope H100. Thermal annealing was carried out over a wide range from 300 to 1300°C. Special attention was devoted to the oxidation of Cu and to the effect of Cu content in Zr-Cu-O films on the oxidation resistance. It was shown that the conversation CuO-Cu2 at 1040°C is a reversible process.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2007

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Plasma Processes and Polymers

ISSN

1612-8850

e-ISSN

—

Svazek periodika

—

Číslo periodika v rámci svazku

—

Stát vydavatele periodika

DE - Spolková republika Německo

Počet stran výsledku

1

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—