Oxidace naprášených Cu vrstev během tepelného žíhání v proudícím vzduchu

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F07%3A00000149" target="_blank" >RIV/49777513:23520/07:00000149 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Oxidation of sputtered Cu films during thermal annealing in flowing air

Popis výsledku v původním jazyce

The article deals with oxidation of Cu films during post-deposition thermal annealing in flowing air. Cu films were sputtered from a pure Cu target in Ar using dc unbalanced magnetron. The copper oxide films formed during post-deposition thermal annealing were compared with CuOx films sputtered from Cu target in the mixture of Ar and O2. The oxidation behavior of the films was characterized by high-temperature thermogravimetry and X-ray diffraction. Thermal annealing was carried out in a wide range of temperatures from 300 to 1300°C. It was found that the CuO oxide decomposes into Cu2O+O at 1040°C.

Název v anglickém jazyce

Oxidation of sputtered Cu films during thermal annealing in flowing air

Popis výsledku anglicky

The article deals with oxidation of Cu films during post-deposition thermal annealing in flowing air. Cu films were sputtered from a pure Cu target in Ar using dc unbalanced magnetron. The copper oxide films formed during post-deposition thermal annealing were compared with CuOx films sputtered from Cu target in the mixture of Ar and O2. The oxidation behavior of the films was characterized by high-temperature thermogravimetry and X-ray diffraction. Thermal annealing was carried out in a wide range of temperatures from 300 to 1300°C. It was found that the CuO oxide decomposes into Cu2O+O at 1040°C.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2007

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

XXVIII International conference on phenomena in ionized gases

ISBN

978-80-87026-01-4

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

711-712

Název nakladatele

Institute of Plasma Physics AS CR

Místo vydání

Prague

Místo konání akce

Praha

Datum konání akce

1. 1. 2007

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—