Vliv energie při nízkoteplotní vysokorychlostní pulzní magnetronové depozici hydrofilních vrstev TiO2
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F07%3A00000156" target="_blank" >RIV/49777513:23520/07:00000156 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/49777513:23520/07:00000022
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Role of energy in low-temperature high-rate formation of hydrophylic TiO2 thin films using pulsed magnetron sputtering
Popis výsledku v původním jazyce
The article reports on low-temperature high-rate deposition of hydrophilic TiO2 thin films using dc pulse dual magnetron (DM) sputtering in an Ar+O2 mixture on unheated glass substrates. DM is operated in a bipolar asymmetric mode and is equipped with Titargets 50mm in diameter. Main attention is concentrated on the investigation of the effect of an energy delivered to the TiO2-x film, growing on unheated and heated substrates, by the ion bombardment on its structure.
Název v anglickém jazyce
Role of energy in low-temperature high-rate formation of hydrophylic TiO2 thin films using pulsed magnetron sputtering
Popis výsledku anglicky
The article reports on low-temperature high-rate deposition of hydrophilic TiO2 thin films using dc pulse dual magnetron (DM) sputtering in an Ar+O2 mixture on unheated glass substrates. DM is operated in a bipolar asymmetric mode and is equipped with Titargets 50mm in diameter. Main attention is concentrated on the investigation of the effect of an energy delivered to the TiO2-x film, growing on unheated and heated substrates, by the ion bombardment on its structure.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/GA106%2F06%2F0327" target="_blank" >GA106/06/0327: Krystalizace amorfních a nanokrystalických tenkých vrstev</a><br>
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2007
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Journal of Vacuum Science and Technology A
ISSN
0734-2101
e-ISSN
—
Svazek periodika
—
Číslo periodika v rámci svazku
—
Stát vydavatele periodika
US - Spojené státy americké
Počet stran výsledku
9
Strana od-do
666
Kód UT WoS článku
—
EID výsledku v databázi Scopus
—