Vysoce ionizované toky rozprášených titanových atomů ve vysokovýkonových pulzních magnetronových výbojích
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F08%3A00500264" target="_blank" >RIV/49777513:23520/08:00500264 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Highly ionized fluxes of sputtered titanium atoms in high-power pulsed magnetron discharges
Popis výsledku v původním jazyce
High-power pulsed dc magnetron discharges for ionized sputtering of titanium films were investigated. The depositions were performed using a strongly unbalanced magnetron source with a plannar titanium target of 100mm diameter. The repetition frequenceswere 1 and 20kHz at 20% and 50% duty cycles and argon pressures of 0.5 and 5Pa. Time evolutions af the discharge characteristics were measured at a target power density in a pulse up to 740Wcm-2. Time-averaged mass spectroscopy was carried out at substrate positions of 100 and 200mm from the target.
Název v anglickém jazyce
Highly ionized fluxes of sputtered titanium atoms in high-power pulsed magnetron discharges
Popis výsledku anglicky
High-power pulsed dc magnetron discharges for ionized sputtering of titanium films were investigated. The depositions were performed using a strongly unbalanced magnetron source with a plannar titanium target of 100mm diameter. The repetition frequenceswere 1 and 20kHz at 20% and 50% duty cycles and argon pressures of 0.5 and 5Pa. Time evolutions af the discharge characteristics were measured at a target power density in a pulse up to 740Wcm-2. Time-averaged mass spectroscopy was carried out at substrate positions of 100 and 200mm from the target.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2008
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Plasma Sources Science and Technology
ISSN
0963-0252
e-ISSN
—
Svazek periodika
17
Číslo periodika v rámci svazku
2
Stát vydavatele periodika
GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska
Počet stran výsledku
1
Strana od-do
—
Kód UT WoS článku
000256543800033
EID výsledku v databázi Scopus
—