Vše

Co hledáte?

Vše
Projekty
Výsledky výzkumu
Subjekty

Rychlé hledání

  • Projekty podpořené TA ČR
  • Významné projekty
  • Projekty s nejvyšší státní podporou
  • Aktuálně běžící projekty

Chytré vyhledávání

  • Takto najdu konkrétní +slovo
  • Takto z výsledků -slovo zcela vynechám
  • “Takto můžu najít celou frázi”

On the control of the composition of NbC films deposited by HiPIMS from a compound target: plasma diagnostics

Identifikátory výsledku

  • Kód výsledku v IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F23%3A43968831" target="_blank" >RIV/49777513:23520/23:43968831 - isvavai.cz</a>

  • Výsledek na webu

  • DOI - Digital Object Identifier

Alternativní jazyky

  • Jazyk výsledku

    angličtina

  • Název v původním jazyce

    On the control of the composition of NbC films deposited by HiPIMS from a compound target: plasma diagnostics

  • Popis výsledku v původním jazyce

    This presentation focuses on explaining the observed change in the composition of films prepared by HiPIMS. The composition changed from C-rich films to stoichiometric NbC films with increasing pulse-averaged power density (realized by shortening the pulse length). To untangle the influence of the plasma processes on the C/Nb ratio in the films, Nb+ and C+ fluxes at the substrate position were measured by energy-resolved mass spectroscopy, and trends in the ratios of Nb and C neutral and ion species at various positions in the discharge were monitored by optical emission spectroscopy. These experimental results are supported by a theoretical analysis of the target composition and of the transport of plasma species in the discharge, employing a pathway discharge model and particle-based simulations. The aim of this presentation is to provide a general understanding applicable to magnetron sputtering of various multi-component targets.

  • Název v anglickém jazyce

    On the control of the composition of NbC films deposited by HiPIMS from a compound target: plasma diagnostics

  • Popis výsledku anglicky

    This presentation focuses on explaining the observed change in the composition of films prepared by HiPIMS. The composition changed from C-rich films to stoichiometric NbC films with increasing pulse-averaged power density (realized by shortening the pulse length). To untangle the influence of the plasma processes on the C/Nb ratio in the films, Nb+ and C+ fluxes at the substrate position were measured by energy-resolved mass spectroscopy, and trends in the ratios of Nb and C neutral and ion species at various positions in the discharge were monitored by optical emission spectroscopy. These experimental results are supported by a theoretical analysis of the target composition and of the transport of plasma species in the discharge, employing a pathway discharge model and particle-based simulations. The aim of this presentation is to provide a general understanding applicable to magnetron sputtering of various multi-component targets.

Klasifikace

  • Druh

    O - Ostatní výsledky

  • CEP obor

  • OECD FORD obor

    20506 - Coating and films

Návaznosti výsledku

  • Projekt

  • Návaznosti

    S - Specificky vyzkum na vysokych skolach

Ostatní

  • Rok uplatnění

    2023

  • Kód důvěrnosti údajů

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů