On unipolar and bipolar HiPIMS pulse configurations to enhance energy flux to insulating surfaces
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F25%3A43975278" target="_blank" >RIV/49777513:23520/25:43975278 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="https://doi.org/10.1088/1361-6595/adbdef" target="_blank" >https://doi.org/10.1088/1361-6595/adbdef</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1088/1361-6595/adbdef" target="_blank" >10.1088/1361-6595/adbdef</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
On unipolar and bipolar HiPIMS pulse configurations to enhance energy flux to insulating surfaces
Popis výsledku v původním jazyce
This study explores the effect of various HiPIMS pulse configurations (unipolar, bipolar, chopped unipolar, and chopped bipolar) to increase energy flux to an insulated surface (e.g., substrate or growing film). The chopped bipolar HiPIMS configuration, featuring several short positive pulses replacing a single long positive pulse, is introduced, and the total energy fluxes are subsequently measured using a passive thermal probe. Moreover, the effect of the probe's capacitance with respect to the ground is systematically investigated by connecting an external capacitor. For surface capacitance in tens of nF, chopping the positive pulse in bipolar HiPIMS effectively increases the energy delivered to the film by discharging the surface in the off-times.
Název v anglickém jazyce
On unipolar and bipolar HiPIMS pulse configurations to enhance energy flux to insulating surfaces
Popis výsledku anglicky
This study explores the effect of various HiPIMS pulse configurations (unipolar, bipolar, chopped unipolar, and chopped bipolar) to increase energy flux to an insulated surface (e.g., substrate or growing film). The chopped bipolar HiPIMS configuration, featuring several short positive pulses replacing a single long positive pulse, is introduced, and the total energy fluxes are subsequently measured using a passive thermal probe. Moreover, the effect of the probe's capacitance with respect to the ground is systematically investigated by connecting an external capacitor. For surface capacitance in tens of nF, chopping the positive pulse in bipolar HiPIMS effectively increases the energy delivered to the film by discharging the surface in the off-times.
Klasifikace
Druh
J<sub>imp</sub> - Článek v periodiku v databázi Web of Science
CEP obor
—
OECD FORD obor
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/EH22_008%2F0004572" target="_blank" >EH22_008/0004572: Kvantové materiály pro aplikace v udržitelných technologiích</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2025
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Plasma Sources Science & Technology
ISSN
0963-0252
e-ISSN
1361-6595
Svazek periodika
34
Číslo periodika v rámci svazku
3
Stát vydavatele periodika
GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska
Počet stran výsledku
7
Strana od-do
nestránkováno
Kód UT WoS článku
001446579400001
EID výsledku v databázi Scopus
2-s2.0-105000417128