Structure and microhardness of magnetron sputtered ZrCu and ZrCu-N films

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F99%3A00037950" target="_blank" >RIV/49777513:23520/99:00037950 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Structure and microhardness of magnetron sputtered ZrCu and ZrCu-N films

Popis výsledku v původním jazyce

The properties of ZrCu and ZrCu-N films magnetron sputtered from an alloyed ZrCu (70/30wt.%) target in Ar+N2 at the same total pressure of 0.7 Pa, respectively, are reported. Zr and Cu are immiscible elements in this composition range resulting in characteristic film properties. A ZrCu film sputter deposited on an unheated substrate was nanocrystalline and characterized by one very broad X-ray reflection line; the substrate temperature Ts up to about 500 C did not affect the ZrCu nanocrystalline structure, but at Ts > 500 C recrystallization process started with a polycrystalline ZrCu film being formed. Addition of nitrogen to the ZrCu film converted the nanocrystalline film to a nanocomposite; and to separate clearly individual phases of this nanocomposite its substrate needed heating. ZrCu/N films sputtered at Ts >= 500 C were nanocomposites composed of Cu and ZrN.

Název v anglickém jazyce

Structure and microhardness of magnetron sputtered ZrCu and ZrCu-N films

Popis výsledku anglicky

The properties of ZrCu and ZrCu-N films magnetron sputtered from an alloyed ZrCu (70/30wt.%) target in Ar+N2 at the same total pressure of 0.7 Pa, respectively, are reported. Zr and Cu are immiscible elements in this composition range resulting in characteristic film properties. A ZrCu film sputter deposited on an unheated substrate was nanocrystalline and characterized by one very broad X-ray reflection line; the substrate temperature Ts up to about 500 C did not affect the ZrCu nanocrystalline structure, but at Ts > 500 C recrystallization process started with a polycrystalline ZrCu film being formed. Addition of nitrogen to the ZrCu film converted the nanocrystalline film to a nanocomposite; and to separate clearly individual phases of this nanocomposite its substrate needed heating. ZrCu/N films sputtered at Ts >= 500 C were nanocomposites composed of Cu and ZrN.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

1999

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Vacuum

ISSN

0042207X

e-ISSN

—

Svazek periodika

Vol.^52

Číslo periodika v rámci svazku

1

Stát vydavatele periodika

GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

Počet stran výsledku

7

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—