Magnetron sputtering of alloy and alloy-based films

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F99%3A00042202" target="_blank" >RIV/49777513:23520/99:00042202 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Magnetron sputtering of alloy and alloy-based films

Popis výsledku v původním jazyce

The paper reviews a present state of the art in magnetron sputtering of alloy films. It shows that a mixing process, i.e. the addition of a second element into a base, one elements film is, together with ion bombardment, the second dominant process whichcan be used to control film structure. It describes general properties of one element films, binary metal alloy films and films made of nitrides of binary metal alloys. Special attention is paid to the formation of the nanocrystalline and nanocomposite films with a grain size about 10 nm and smaller, and of the high-temperature phases at low temperatures close to room temperature. The alloy and alloy-based films with nanocrystalline structure represent, due to their novel structure and new physical properties, a new generation of materials.

Název v anglickém jazyce

Magnetron sputtering of alloy and alloy-based films

Popis výsledku anglicky

The paper reviews a present state of the art in magnetron sputtering of alloy films. It shows that a mixing process, i.e. the addition of a second element into a base, one elements film is, together with ion bombardment, the second dominant process whichcan be used to control film structure. It describes general properties of one element films, binary metal alloy films and films made of nitrides of binary metal alloys. Special attention is paid to the formation of the nanocrystalline and nanocomposite films with a grain size about 10 nm and smaller, and of the high-temperature phases at low temperatures close to room temperature. The alloy and alloy-based films with nanocrystalline structure represent, due to their novel structure and new physical properties, a new generation of materials.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

1999

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Thin Solid Films

ISSN

00406090

e-ISSN

—

Svazek periodika

1

Číslo periodika v rámci svazku

Č.^343-344

Stát vydavatele periodika

NL - Nizozemsko

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—