Gradient mřížkového napětí ve vrstvách ZnO:Al deponovaných naprašováním na skleněných podložkách

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23640%2F06%3A00000031" target="_blank" >RIV/49777513:23640/06:00000031 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Gradient mřížkového napětí ve vrstvách ZnO:Al deponovaných naprašováním na skleněných podložkách

Popis výsledku v původním jazyce

Oxid zinečnatý je atraktivní materiál s mnoha aplikacemi v mikroelektronice, zvláště v mikrosystémech a fotovoltaických technologiích. Tenké vrstvy ZnO dopované hliníkem jsou používané v solárních článcích jako transparentní vodivé oxidy (TCO). V tomto příspěvku je ukázána metoda určení gradientu mřížkového napětí ve vrstvách ZnO:Al pomocí rtg difrakčni analýzy z asymetrického profilu linie. Rtg analýza ukázala, že gradient mřížkového napětí ve vrstvách ZnO závisí na depozičních parametrech a na použitém substrátu.

Název v anglickém jazyce

Lattice stress gradient in ZnO:Al films sputtered on glass substrates

Popis výsledku anglicky

Zinc oxide is an attractive material with many applications in the microelectronics, especially in the domain of microsystem and photovolaic technology. Zinc oxide thin films doped by aluminium (ZnO:Al) are applying to solar cells as transparent conducive oxides (TCO). In this paper a simple method to determine the lattice stress gradients in ZnO films by using the X-ray diffraction (XRD) analysis of asymmetric line profiles is presented. XRD analysis indicated that lattice stress gradients in ZnO thinfilms depend on the deposition parameters and substrate material used.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/1M06031" target="_blank" >1M06031: Materiály a komponenty pro ochranu životního prostředí</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2006

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Lokální mechanické vlastnosti 2006

ISBN

80-7043-512-7

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

168-172

Název nakladatele

Západočeská univerzita

Místo vydání

Plzeň

Místo konání akce

Nečtiny

Datum konání akce

1. 1. 2006

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—