Strukturní a optické vlastnosti naprašovaných tenkých vrstev ZnO

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23640%2F07%3A00000048" target="_blank" >RIV/49777513:23640/07:00000048 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Structural and optical properties of sputtered ZnO thin films

Popis výsledku v původním jazyce

Zinc oxide (ZnO) and aluminium doped zinc oxide (ZnO:Al) thin films were prepared by RF diode sputtering at varying deposition conditions. The effects of negative bias voltage and RF power on structural and optical properties were investigated. X-ray diffraction measurements (XRD)confirmed that both un-doped and Al doped ZnO films are polycrystalline and have hexagonal wurtzite structure. The preferential <001> orientation and surface roughness evaluated by AFM measurements showed dependence on appliedbias voltage and RF power. The sputtered ZnO and ZnO:Al films had high optical transmittance (>90%) in the wavelength range of 400-800 nm, which was not influenced by bias voltage and RF power.

Název v anglickém jazyce

Structural and optical properties of sputtered ZnO thin films

Popis výsledku anglicky

Zinc oxide (ZnO) and aluminium doped zinc oxide (ZnO:Al) thin films were prepared by RF diode sputtering at varying deposition conditions. The effects of negative bias voltage and RF power on structural and optical properties were investigated. X-ray diffraction measurements (XRD)confirmed that both un-doped and Al doped ZnO films are polycrystalline and have hexagonal wurtzite structure. The preferential <001> orientation and surface roughness evaluated by AFM measurements showed dependence on appliedbias voltage and RF power. The sputtered ZnO and ZnO:Al films had high optical transmittance (>90%) in the wavelength range of 400-800 nm, which was not influenced by bias voltage and RF power.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/1M06031" target="_blank" >1M06031: Materiály a komponenty pro ochranu životního prostředí</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2007

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Applied Surface Science

ISSN

0169-4332

e-ISSN

—

Svazek periodika

—

Číslo periodika v rámci svazku

—

Stát vydavatele periodika

NL - Nizozemsko

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

3643

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—