Porovnání experimentálních technik při určování mikrostruktury a-Si:H deponovaného s různým vodíkovým zředěním

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23640%2F08%3A00500443" target="_blank" >RIV/49777513:23640/08:00500443 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Comparison of various experimental techniques for the determination of microstructure of a-Si:H deposited with different hydrogen dilution

Popis výsledku v původním jazyce

Hydrogenated amorphous silicon (a-Si:H) and polycrystalline hydrogenated silicon are significant materials for thin film microelectronics, optoelectronics and photovoltaics. Thin films prepared from silane diluted with hydrogen in PECVD are characterizedby suppressed light-induced degradation of a-Si:H solar cells. Parameters of solar cells critically depend on electronic and optical properties of the material, which require certain microstructure. The structure (so called "protocrystalline silicon"),deposited in specific conditions presents evolvement from the amorphous to microcrystalline phase, and includes amorphous phase with the short-range order. In this paper, the influence of dilution on microstructural properties is investigated. For this purpose XRD analysis, Raman and FTIR spectrometry give valuable insights into the structural evolution of films.

Název v anglickém jazyce

Comparison of various experimental techniques for the determination of microstructure of a-Si:H deposited with different hydrogen dilution

Popis výsledku anglicky

Hydrogenated amorphous silicon (a-Si:H) and polycrystalline hydrogenated silicon are significant materials for thin film microelectronics, optoelectronics and photovoltaics. Thin films prepared from silane diluted with hydrogen in PECVD are characterizedby suppressed light-induced degradation of a-Si:H solar cells. Parameters of solar cells critically depend on electronic and optical properties of the material, which require certain microstructure. The structure (so called "protocrystalline silicon"),deposited in specific conditions presents evolvement from the amorphous to microcrystalline phase, and includes amorphous phase with the short-range order. In this paper, the influence of dilution on microstructural properties is investigated. For this purpose XRD analysis, Raman and FTIR spectrometry give valuable insights into the structural evolution of films.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/1M06031" target="_blank" >1M06031: Materiály a komponenty pro ochranu životního prostředí</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2008

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of the 14th international conference on Applied physics of condensed matter

ISBN

978-80-227-2902-4

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

—

Název nakladatele

Slovak University of Technology

Místo vydání

Bratislava

Místo konání akce

Liptovský Ján

Datum konání akce

27. 6. 2008

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—