Vliv procesu depozice na strukturní a elektrické vlastnosti tenkých vrstev oxidu zinku dopovaného hliníkem

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23640%2F08%3A00500494" target="_blank" >RIV/49777513:23640/08:00500494 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

The influence of the deposition process onto the structural and electrical properties of ZnO:Al thin films

Popis výsledku v původním jazyce

We focused our experiment on the aluminium-doped zinc oxide thin films prepared by RF sputtering onto the glass substrate. ZnO is one of the metal oxide semiconductors suitable for use in photovoltaic as the top electrode or back reflector in thin film solar cells, where it´s optical and electrical properties, such as low resistivity and high transparency are very important. Therefore all above the ingluence of deposition process on structure and electrical properties was investigated.

Název v anglickém jazyce

The influence of the deposition process onto the structural and electrical properties of ZnO:Al thin films

Popis výsledku anglicky

We focused our experiment on the aluminium-doped zinc oxide thin films prepared by RF sputtering onto the glass substrate. ZnO is one of the metal oxide semiconductors suitable for use in photovoltaic as the top electrode or back reflector in thin film solar cells, where it´s optical and electrical properties, such as low resistivity and high transparency are very important. Therefore all above the ingluence of deposition process on structure and electrical properties was investigated.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/1M06031" target="_blank" >1M06031: Materiály a komponenty pro ochranu životního prostředí</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2008

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of the 14th International Conference on Applied physics of condensed matter

ISBN

978-80-227-2902-4

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

—

Název nakladatele

Slovak University of Technology

Místo vydání

Bratislava

Místo konání akce

Liptovský Ján

Datum konání akce

27. 6. 2008

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—