Atomic force microscopy study of SnO2 thin films for gas sensor
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F44555601%3A13430%2F02%3A00001972" target="_blank" >RIV/44555601:13430/02:00001972 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Atomic force microscopy study of SnO2 thin films for gas sensor
Popis výsledku v původním jazyce
The SnO2 thin films are widely used for gas sensor applications. In this work we have studied properties of SnO2 thin films produced by thermal evaporation of Sn films followed by in situ plasma oxidation. The structure of such SnO2 films and also theirchemical and physical properties depend on parameters governing the growth of these films during plasma oxidation, e.g. on both the plasma parameters and the substrate temperature. The effects of annealing modification of SnO2 films on the surface structure, composition, and electrical conductance of SnO2 films were studied.
Název v anglickém jazyce
Atomic force microscopy study of SnO2 thin films for gas sensor
Popis výsledku anglicky
The SnO2 thin films are widely used for gas sensor applications. In this work we have studied properties of SnO2 thin films produced by thermal evaporation of Sn films followed by in situ plasma oxidation. The structure of such SnO2 films and also theirchemical and physical properties depend on parameters governing the growth of these films during plasma oxidation, e.g. on both the plasma parameters and the substrate temperature. The effects of annealing modification of SnO2 films on the surface structure, composition, and electrical conductance of SnO2 films were studied.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/OC%20527.50" target="_blank" >OC 527.50: Studium tenkých polymerních vrstev pomocí AFM a rozvoj metod diagnostiky plazmatu.</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2002
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
National Conference NANO 02
ISBN
80-7329-027-8
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
270-273
Název nakladatele
Repronis
Místo vydání
Ostrava
Místo konání akce
Brno
Datum konání akce
19. 11. 2002
Typ akce podle státní příslušnosti
CST - Celostátní akce
Kód UT WoS článku
—