Vše

Co hledáte?

Vše
Projekty
Výsledky výzkumu
Subjekty

Rychlé hledání

  • Projekty podpořené TA ČR
  • Významné projekty
  • Projekty s nejvyšší státní podporou
  • Aktuálně běžící projekty

Chytré vyhledávání

  • Takto najdu konkrétní +slovo
  • Takto z výsledků -slovo zcela vynechám
  • “Takto můžu najít celou frázi”

Atomic force microscopy study of SnO2 thin films for gas sensor

Identifikátory výsledku

  • Kód výsledku v IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F44555601%3A13430%2F02%3A00001972" target="_blank" >RIV/44555601:13430/02:00001972 - isvavai.cz</a>

  • Výsledek na webu

  • DOI - Digital Object Identifier

Alternativní jazyky

  • Jazyk výsledku

    angličtina

  • Název v původním jazyce

    Atomic force microscopy study of SnO2 thin films for gas sensor

  • Popis výsledku v původním jazyce

    The SnO2 thin films are widely used for gas sensor applications. In this work we have studied properties of SnO2 thin films produced by thermal evaporation of Sn films followed by in situ plasma oxidation. The structure of such SnO2 films and also theirchemical and physical properties depend on parameters governing the growth of these films during plasma oxidation, e.g. on both the plasma parameters and the substrate temperature. The effects of annealing modification of SnO2 films on the surface structure, composition, and electrical conductance of SnO2 films were studied.

  • Název v anglickém jazyce

    Atomic force microscopy study of SnO2 thin films for gas sensor

  • Popis výsledku anglicky

    The SnO2 thin films are widely used for gas sensor applications. In this work we have studied properties of SnO2 thin films produced by thermal evaporation of Sn films followed by in situ plasma oxidation. The structure of such SnO2 films and also theirchemical and physical properties depend on parameters governing the growth of these films during plasma oxidation, e.g. on both the plasma parameters and the substrate temperature. The effects of annealing modification of SnO2 films on the surface structure, composition, and electrical conductance of SnO2 films were studied.

Klasifikace

  • Druh

    D - Stať ve sborníku

  • CEP obor

    BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

  • OECD FORD obor

Návaznosti výsledku

  • Projekt

    <a href="/cs/project/OC%20527.50" target="_blank" >OC 527.50: Studium tenkých polymerních vrstev pomocí AFM a rozvoj metod diagnostiky plazmatu.</a><br>

  • Návaznosti

    P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Ostatní

  • Rok uplatnění

    2002

  • Kód důvěrnosti údajů

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Údaje specifické pro druh výsledku

  • Název statě ve sborníku

    National Conference NANO 02

  • ISBN

    80-7329-027-8

  • ISSN

  • e-ISSN

  • Počet stran výsledku

    4

  • Strana od-do

    270-273

  • Název nakladatele

    Repronis

  • Místo vydání

    Ostrava

  • Místo konání akce

    Brno

  • Datum konání akce

    19. 11. 2002

  • Typ akce podle státní příslušnosti

    CST - Celostátní akce

  • Kód UT WoS článku