Atomic Force Microscopy of SnO2 Thin Films for Gas Sensor

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F44555601%3A13430%2F02%3A00001971" target="_blank" >RIV/44555601:13430/02:00001971 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Atomic Force Microscopy of SnO2 Thin Films for Gas Sensor

Popis výsledku v původním jazyce

The SnO2 thin films are widely used for gas sensor applications. In this work wi have studied properties of SnO2 thin films produced by a thermal evaporation of Sn films followed by an in situ plasma oxidation. The structure of such SnO2 films and also their chemical and physical properties depend on paramenters governing the growth of these films during plasma oxidation, e.g. both on the plasma parameters and the substrate temperature. The effects of annealing modification of SnO2 films on the surfacestructure , composition, and electrical conductance of SnO2 films were studied.

Název v anglickém jazyce

Atomic Force Microscopy of SnO2 Thin Films for Gas Sensor

Popis výsledku anglicky

The SnO2 thin films are widely used for gas sensor applications. In this work wi have studied properties of SnO2 thin films produced by a thermal evaporation of Sn films followed by an in situ plasma oxidation. The structure of such SnO2 films and also their chemical and physical properties depend on paramenters governing the growth of these films during plasma oxidation, e.g. both on the plasma parameters and the substrate temperature. The effects of annealing modification of SnO2 films on the surfacestructure , composition, and electrical conductance of SnO2 films were studied.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/OC%20527.50" target="_blank" >OC 527.50: Studium tenkých polymerních vrstev pomocí AFM a rozvoj metod diagnostiky plazmatu.</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2002

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Nano 02 National Conference

ISBN

80-7204-258-0

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

1

Strana od-do

93

Název nakladatele

Akademické nakladatelství CERM s.r.o.

Místo vydání

Brno

Místo konání akce

Brno

Datum konání akce

19. 11. 2002

Typ akce podle státní příslušnosti

CST - Celostátní akce

Kód UT WoS článku

—