Studium povrchu plazmaticky oxidovaných tenkých vrstev cínu pomocí AFM

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F44555601%3A13430%2F03%3A00002343" target="_blank" >RIV/44555601:13430/03:00002343 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Studium povrchu plazmaticky oxidovaných tenkých vrstev cínu pomocí AFM

Popis výsledku v původním jazyce

Jsou prezentovány výsledky studia tenkých vrstev SnO2 připravovaných plazmatickou oxidací tenkých vrstev cínu. Analýza topografie povrchu vrstev byla prováděna pomocí AFM mikroskopu. Tenké vrstvy SnO2 jsou velmi často využívány jako materiál pro přípravusenzorů plynů. Výsledné vlastnosti senzorů jsou pak závislé na některých parametrech vrstev SnO2., které závisejí na způsobu přípravy vrstev. Námi použitá metoda plazmatické oxidace tak rozšiřuje doposud používaných technologií přípravy tenkých vrstev SnO2.

Název v anglickém jazyce

AFM Study of the Surface of Thin Tin Dioxide Films Prepared by Plasma Oxidation.

Popis výsledku anglicky

In this work, we have studied properties of SnO2 thin films produced by a thermal evaporation of Sn films followed by in situ plasma oxidation. The surface topography of the oxide films was studied by Atomic Force Microscopy (AFM). The SnO2 is one of themost widely used materials for gas sensor applications due to their properties and their good performance for a detection of oxidable gases. The properties of the SnO2 thin films are strongly dependent on the procedure of preparation. It has been proventhat the method of plasma oxidation is a possible applicable alternative method for preparing thin SnO2 films.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/OC%20527.50" target="_blank" >OC 527.50: Studium tenkých polymerních vrstev pomocí AFM a rozvoj metod diagnostiky plazmatu.</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2003

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Československý časopis pro fyziku

ISSN

0009-0700

e-ISSN

—

Svazek periodika

53

Číslo periodika v rámci svazku

2

Stát vydavatele periodika

CZ - Česká republika

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

101-104

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—