Properties of the Thin SnO2 Layers Produces by Plasma Oxidation
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F44555601%3A13430%2F01%3A00001469" target="_blank" >RIV/44555601:13430/01:00001469 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Properties of the Thin SnO2 Layers Produces by Plasma Oxidation
Popis výsledku v původním jazyce
The development of gas sensors in the last few years has shown an important interest in thin tin oxide films. The SnO2 is one of the most widely used materials for gas sensor applications due to their properties and their good perfomance for the detection of oxidable gases. When SnO2 layers are used in gas sensors, some features can depend on many layer parameters. In this work we have studied the properties of SnO2 thin films produced by thermal evaporation deposition of tin metal films and plasma oxidation of these metal films. The effect of technological parameters (e.g. plasma parameters of the oxide films was studied by Atomic Force Microscopy (AFM) and Rutherford Back Scattering (RBS).
Název v anglickém jazyce
Properties of the Thin SnO2 Layers Produces by Plasma Oxidation
Popis výsledku anglicky
The development of gas sensors in the last few years has shown an important interest in thin tin oxide films. The SnO2 is one of the most widely used materials for gas sensor applications due to their properties and their good perfomance for the detection of oxidable gases. When SnO2 layers are used in gas sensors, some features can depend on many layer parameters. In this work we have studied the properties of SnO2 thin films produced by thermal evaporation deposition of tin metal films and plasma oxidation of these metal films. The effect of technological parameters (e.g. plasma parameters of the oxide films was studied by Atomic Force Microscopy (AFM) and Rutherford Back Scattering (RBS).
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/OK%20401" target="_blank" >OK 401: Studium technologických procesů za asistence plazmatu</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2001
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Le Vide: science, technigue et application
ISSN
1266-0167
e-ISSN
—
Svazek periodika
56
Číslo periodika v rámci svazku
300
Stát vydavatele periodika
FR - Francouzská republika
Počet stran výsledku
3
Strana od-do
278-280
Kód UT WoS článku
—
EID výsledku v databázi Scopus
—