Surface Properties of the Thin SnO2 Layers Prepared by Plasma Oxidation

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F44555601%3A13430%2F01%3A00001468" target="_blank" >RIV/44555601:13430/01:00001468 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Surface Properties of the Thin SnO2 Layers Prepared by Plasma Oxidation

Popis výsledku v původním jazyce

Development of gas sensors in last few years has shown an important interest in thin tin oxide films. The SnO2 is one of the most widely used materials for gas sensor applications due to their properties and their good perfomance for a detection of oxidable gases. In this work, we have studied surface properties of SnO2 thin films produced by thermal evaporation of tin films and next plasma oxidation of the metal films. The influence of technological parameters (e.g. plasma parameters, oxidation time and voltage bias applied to the substrate during oxidation) on the surface properties of the oxide films was studied by Atomic Force Microscopy (AFM).

Název v anglickém jazyce

Surface Properties of the Thin SnO2 Layers Prepared by Plasma Oxidation

Popis výsledku anglicky

Development of gas sensors in last few years has shown an important interest in thin tin oxide films. The SnO2 is one of the most widely used materials for gas sensor applications due to their properties and their good perfomance for a detection of oxidable gases. In this work, we have studied surface properties of SnO2 thin films produced by thermal evaporation of tin films and next plasma oxidation of the metal films. The influence of technological parameters (e.g. plasma parameters, oxidation time and voltage bias applied to the substrate during oxidation) on the surface properties of the oxide films was studied by Atomic Force Microscopy (AFM).

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/OC%20527.50" target="_blank" >OC 527.50: Studium tenkých polymerních vrstev pomocí AFM a rozvoj metod diagnostiky plazmatu.</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2001

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Symposium proceedings 15th International Symposium on Plasma Chemistry, ISPC - 15

ISBN

—

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

3279-3284

Název nakladatele

GREMI, CNRS/University of Orléans

Místo vydání

Orléans

Místo konání akce

Orléans

Datum konání akce

13. 7. 2001

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—