Study of ZnO layer growth by pulsed laser deposition from Zn and ZnO targets
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23640%2F10%3A00503179" target="_blank" >RIV/49777513:23640/10:00503179 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Study of ZnO layer growth by pulsed laser deposition from Zn and ZnO targets
Popis výsledku v původním jazyce
The article deals with structural properties of ZnO thin layers prepared on Si (111) by pulsed laser deposition at different pressures (1?35 Pa) of ambient oxygen in the deposition chamber. The growth temperature was 400 °C and a pulsed Nd:YAG laser wasused at a wavelength of 355 nm. Two parallel sets of samples deposited by ablation of different targets (a sintered ceramic pellet of ZnO and a pure metallic Zn target) were examined. The samples were characterized by different analytical methods: scanning electron microscope (SEM), secondary ion mass spectroscopy (SIMS), and X-ray diffraction (XRD). The prepared layers exhibited columnar structure and uniform preferred c-axis orientation. The results showed that the high quality of ZnO films fabricatedfrom both targets is comparable, except for those obtained at low (1 Pa) pressures.
Název v anglickém jazyce
Study of ZnO layer growth by pulsed laser deposition from Zn and ZnO targets
Popis výsledku anglicky
The article deals with structural properties of ZnO thin layers prepared on Si (111) by pulsed laser deposition at different pressures (1?35 Pa) of ambient oxygen in the deposition chamber. The growth temperature was 400 °C and a pulsed Nd:YAG laser wasused at a wavelength of 355 nm. Two parallel sets of samples deposited by ablation of different targets (a sintered ceramic pellet of ZnO and a pure metallic Zn target) were examined. The samples were characterized by different analytical methods: scanning electron microscope (SEM), secondary ion mass spectroscopy (SIMS), and X-ray diffraction (XRD). The prepared layers exhibited columnar structure and uniform preferred c-axis orientation. The results showed that the high quality of ZnO films fabricatedfrom both targets is comparable, except for those obtained at low (1 Pa) pressures.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/1M06031" target="_blank" >1M06031: Materiály a komponenty pro ochranu životního prostředí</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2010
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Vacuum
ISSN
0042-207X
e-ISSN
—
Svazek periodika
84
Číslo periodika v rámci svazku
1
Stát vydavatele periodika
GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
—
Kód UT WoS článku
000270625900042
EID výsledku v databázi Scopus
—