Vše

Co hledáte?

Vše
Projekty
Výsledky výzkumu
Subjekty

Rychlé hledání

  • Projekty podpořené TA ČR
  • Významné projekty
  • Projekty s nejvyšší státní podporou
  • Aktuálně běžící projekty

Chytré vyhledávání

  • Takto najdu konkrétní +slovo
  • Takto z výsledků -slovo zcela vynechám
  • “Takto můžu najít celou frázi”

Study of ZnO layer growth by pulsed laser deposition from Zn and ZnO targets

Identifikátory výsledku

  • Kód výsledku v IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23640%2F10%3A00503179" target="_blank" >RIV/49777513:23640/10:00503179 - isvavai.cz</a>

  • Výsledek na webu

  • DOI - Digital Object Identifier

Alternativní jazyky

  • Jazyk výsledku

    angličtina

  • Název v původním jazyce

    Study of ZnO layer growth by pulsed laser deposition from Zn and ZnO targets

  • Popis výsledku v původním jazyce

    The article deals with structural properties of ZnO thin layers prepared on Si (111) by pulsed laser deposition at different pressures (1?35 Pa) of ambient oxygen in the deposition chamber. The growth temperature was 400 °C and a pulsed Nd:YAG laser wasused at a wavelength of 355 nm. Two parallel sets of samples deposited by ablation of different targets (a sintered ceramic pellet of ZnO and a pure metallic Zn target) were examined. The samples were characterized by different analytical methods: scanning electron microscope (SEM), secondary ion mass spectroscopy (SIMS), and X-ray diffraction (XRD). The prepared layers exhibited columnar structure and uniform preferred c-axis orientation. The results showed that the high quality of ZnO films fabricatedfrom both targets is comparable, except for those obtained at low (1 Pa) pressures.

  • Název v anglickém jazyce

    Study of ZnO layer growth by pulsed laser deposition from Zn and ZnO targets

  • Popis výsledku anglicky

    The article deals with structural properties of ZnO thin layers prepared on Si (111) by pulsed laser deposition at different pressures (1?35 Pa) of ambient oxygen in the deposition chamber. The growth temperature was 400 °C and a pulsed Nd:YAG laser wasused at a wavelength of 355 nm. Two parallel sets of samples deposited by ablation of different targets (a sintered ceramic pellet of ZnO and a pure metallic Zn target) were examined. The samples were characterized by different analytical methods: scanning electron microscope (SEM), secondary ion mass spectroscopy (SIMS), and X-ray diffraction (XRD). The prepared layers exhibited columnar structure and uniform preferred c-axis orientation. The results showed that the high quality of ZnO films fabricatedfrom both targets is comparable, except for those obtained at low (1 Pa) pressures.

Klasifikace

  • Druh

    J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

  • CEP obor

    BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

  • OECD FORD obor

Návaznosti výsledku

  • Projekt

    <a href="/cs/project/1M06031" target="_blank" >1M06031: Materiály a komponenty pro ochranu životního prostředí</a><br>

  • Návaznosti

    P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Ostatní

  • Rok uplatnění

    2010

  • Kód důvěrnosti údajů

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Údaje specifické pro druh výsledku

  • Název periodika

    Vacuum

  • ISSN

    0042-207X

  • e-ISSN

  • Svazek periodika

    84

  • Číslo periodika v rámci svazku

    1

  • Stát vydavatele periodika

    GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

  • Počet stran výsledku

    4

  • Strana od-do

  • Kód UT WoS článku

    000270625900042

  • EID výsledku v databázi Scopus