Surface modification of doped ZnO thin films

Kód výsledku v IS VaVaI

RIV/49777513:23640/10:00503338 - isvavai.cz

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Surface modification of doped ZnO thin films

Popis výsledku v původním jazyce

Effects of photo-assisted electrodeless and ion RF-sputter etching on the structural and optical properties of sputtered ZnO:Al thin films were investigated. Photo-assisted electrodeless etching was appropriate for getting ?smooth? surfaces and ion RF-sputter etching by high power has significantly modified the surface roughness with an increase of the light diffuse transmittance.

Název v anglickém jazyce

Surface modification of doped ZnO thin films

Popis výsledku anglicky

Effects of photo-assisted electrodeless and ion RF-sputter etching on the structural and optical properties of sputtered ZnO:Al thin films were investigated. Photo-assisted electrodeless etching was appropriate for getting ?smooth? surfaces and ion RF-sputter etching by high power has significantly modified the surface roughness with an increase of the light diffuse transmittance.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

1M06031: Materiály a komponenty pro ochranu životního prostředí

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2010

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Applied Surface Science

ISSN

0169-4332

e-ISSN

—

Svazek periodika

256

Číslo periodika v rámci svazku

18

Stát vydavatele periodika

NL - Nizozemsko

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—