Annealing and recrystallization of amorphous ZnO thin ?lms deposited under cryogenic conditions by pulsed laser deposition

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23640%2F11%3A43898563" target="_blank" >RIV/49777513:23640/11:43898563 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2011.04.202" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2011.04.202</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2011.04.202" target="_blank" >10.1016/j.tsf.2011.04.202</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Annealing and recrystallization of amorphous ZnO thin ?lms deposited under cryogenic conditions by pulsed laser deposition

Popis výsledku v původním jazyce

This article deals with the annealing of amorphous ZnO thin films prepared by pulsed laser deposition (PLD) under cryogenic conditions. The substrate holder was cooled by liquid nitrogen. X-ray diffraction analysis evidenced that as-deposited films had amorphous structures: analysis by scanning electron microscopy (SEM) revealed their fine grained surface and inner structure. Annealing at temperatures in the range of 200 - 800 °C resulted in a transition in the thin film crystal structure from amorphousto polycrystalline. Various properties of the ZnO films were found depending on the recrystallization temperature. In depth investigations employing SEM, X-ray diffraction, atomic force microscopy and secondary ion mass spectroscopy provided comparisonsof the recrystallizations of undoped ZnO thin films during the phase transition processes from amorphous to hexagonal wurtzite structures.

Název v anglickém jazyce

Annealing and recrystallization of amorphous ZnO thin ?lms deposited under cryogenic conditions by pulsed laser deposition

Popis výsledku anglicky

This article deals with the annealing of amorphous ZnO thin films prepared by pulsed laser deposition (PLD) under cryogenic conditions. The substrate holder was cooled by liquid nitrogen. X-ray diffraction analysis evidenced that as-deposited films had amorphous structures: analysis by scanning electron microscopy (SEM) revealed their fine grained surface and inner structure. Annealing at temperatures in the range of 200 - 800 °C resulted in a transition in the thin film crystal structure from amorphousto polycrystalline. Various properties of the ZnO films were found depending on the recrystallization temperature. In depth investigations employing SEM, X-ray diffraction, atomic force microscopy and secondary ion mass spectroscopy provided comparisonsof the recrystallizations of undoped ZnO thin films during the phase transition processes from amorphous to hexagonal wurtzite structures.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2011

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Thin Solid Films

ISSN

0040-6090

e-ISSN

—

Svazek periodika

520

Číslo periodika v rámci svazku

2

Stát vydavatele periodika

NL - Nizozemsko

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

866-870

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—