Change of optical properties of a-Si:H films in dependence on different material structure
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23640%2F12%3A43917412" target="_blank" >RIV/49777513:23640/12:43917412 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Change of optical properties of a-Si:H films in dependence on different material structure
Popis výsledku v původním jazyce
Optical properties of hydrogenated amorphous (a-Si:H) and microcrystalline silicon (mýc-Si:H) are related to changes in the structural and compositional disorder. This paper describes two different technologies of fabrication of mýc-Si:H films. One of the possibilities how to obtain mýc-Si:H films of a good quality is plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD) with controlled hydrogen diluting of silane precursor. Second option is based on two steps: (i) PECVD deposition of a-Si:H films and (ii)isothermal heat treatment at temperature around 600 °C with phase transformation from amorphous to microcrystalline phase.
Název v anglickém jazyce
Change of optical properties of a-Si:H films in dependence on different material structure
Popis výsledku anglicky
Optical properties of hydrogenated amorphous (a-Si:H) and microcrystalline silicon (mýc-Si:H) are related to changes in the structural and compositional disorder. This paper describes two different technologies of fabrication of mýc-Si:H films. One of the possibilities how to obtain mýc-Si:H films of a good quality is plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD) with controlled hydrogen diluting of silane precursor. Second option is based on two steps: (i) PECVD deposition of a-Si:H films and (ii)isothermal heat treatment at temperature around 600 °C with phase transformation from amorphous to microcrystalline phase.
Klasifikace
Druh
O - Ostatní výsledky
CEP obor
BK - Mechanika tekutin
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/ED2.1.00%2F03.0088" target="_blank" >ED2.1.00/03.0088: Centrum nových technologií a materiálů (CENTEM)</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2012
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů