Change of optical properties of a-Si:H films in dependence on different material structure

Kód výsledku v IS VaVaI

RIV/49777513:23640/12:43917412 - isvavai.cz

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Change of optical properties of a-Si:H films in dependence on different material structure

Popis výsledku v původním jazyce

Optical properties of hydrogenated amorphous (a-Si:H) and microcrystalline silicon (mýc-Si:H) are related to changes in the structural and compositional disorder. This paper describes two different technologies of fabrication of mýc-Si:H films. One of the possibilities how to obtain mýc-Si:H films of a good quality is plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD) with controlled hydrogen diluting of silane precursor. Second option is based on two steps: (i) PECVD deposition of a-Si:H films and (ii)isothermal heat treatment at temperature around 600 °C with phase transformation from amorphous to microcrystalline phase.

Název v anglickém jazyce

Change of optical properties of a-Si:H films in dependence on different material structure

Popis výsledku anglicky

Optical properties of hydrogenated amorphous (a-Si:H) and microcrystalline silicon (mýc-Si:H) are related to changes in the structural and compositional disorder. This paper describes two different technologies of fabrication of mýc-Si:H films. One of the possibilities how to obtain mýc-Si:H films of a good quality is plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD) with controlled hydrogen diluting of silane precursor. Second option is based on two steps: (i) PECVD deposition of a-Si:H films and (ii)isothermal heat treatment at temperature around 600 °C with phase transformation from amorphous to microcrystalline phase.

Druh

O - Ostatní výsledky

CEP obor

BK - Mechanika tekutin

OECD FORD obor

—

Projekt

ED2.1.00/03.0088: Centrum nových technologií a materiálů (CENTEM)

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2012

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů